Thuyền SiC

Thuyền Semicorex SiC được chế tạo tỉ mỉ từ gốm SiC có độ tinh khiết cao, một vật liệu nổi tiếng vì độ ổn định nhiệt chưa từng có, độ bền cơ học đặc biệt và độ trơ hóa học vững chắc. Những đặc tính này làm cho nó trở thành sự lựa chọn hoàn hảo cho các điều kiện chế tạo chất bán dẫn khắt khe.

Thuyền SiC tự hào về độ bền và độ bền cơ học vô song nhờ độ cứng của vật liệu và khả năng chống mài mòn đặc biệt. Điều này cho phép chúng chịu đựng được tính chất khắt khe của môi trường sản xuất chất bán dẫn hiệu suất cao mà không bị hao mòn dần dần. Không giống như các vật liệu khác, SiC duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc theo thời gian, giảm đáng kể nhu cầu thay thế thường xuyên và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động trong hoạt động sản xuất – cuối cùng giúp tiết kiệm chi phí đáng kể cho các nhà sản xuất chất bán dẫn.

Tính trơ hóa học của SiC càng củng cố thêm tính phù hợp của nó đối với các quá trình bán dẫn bằng cách làm cho nó có khả năng chống lại sự tấn công hóa học cao từ các khí phản ứng và các vật liệu thường được sử dụng như clo và flo. Khả năng chống chịu mạnh mẽ này đảm bảo thuyền SiC không làm nhiễm bẩn các tấm bán dẫn trong quá trình xử lý, từ đó duy trì độ tinh khiết và chất lượng của các thiết bị bán dẫn được chế tạo. Đối với các quy trình đòi hỏi mức độ kháng hóa chất cao hơn nữa, Thuyền SiC có thể được phủ thêm một lớp SiC, cung cấp thêm một rào cản chống lại sự tấn công hóa học và nâng cao độ hoàn thiện bề mặt của thuyền để giảm nguy cơ ô nhiễm hạt.

Độ tinh khiết cao của gốm SiC được sử dụng trên những chiếc thuyền này là rất quan trọng vì sản xuất chất bán dẫn yêu cầu vật liệu có tạp chất tối thiểu. Ngay cả một lượng nhỏ chất gây ô nhiễm cũng có thể làm giảm tính chất điện của tấm bán dẫn và gây ra lỗi ở thiết bị cuối cùng. Thuyền SiC được thiết kế từ gốm SiC có độ tinh khiết cực cao để đảm bảo rằng chúng không đưa tạp chất vào môi trường xử lý, ngay cả ở nhiệt độ cao và điều kiện phản ứng điển hình của chế tạo chất bán dẫn. Độ tinh khiết này củng cố độ tin cậy của SiC Boats cho các bước quy trình quan trọng.

Khả năng tương thích của Thuyền SiC với các thiết bị bán dẫn khác nhau là điều tối quan trọng. Tính linh hoạt của SiC cho phép nó được gia công chính xác để phù hợp với các kích thước và cấu hình cụ thể theo yêu cầu của các loại lò phản ứng và lò phản ứng bán dẫn khác nhau, khiến chúng phù hợp với nhiều ứng dụng, từ hoạt động nghiên cứu và phát triển quy mô nhỏ đến dây chuyền sản xuất quy mô lớn. Ngoài ra, đặc tính dẫn nhiệt và tản nhiệt đặc biệt của vật liệu góp phần kiểm soát nhiệt độ hiệu quả hơn trong quá trình xử lý, nâng cao hơn nữa hiệu suất và năng suất của các thiết bị bán dẫn.