Người giữ thuyền sic

Chủ sở hữu thuyền SICOREX là các thiết bị hỗ trợ chính xác được thiết kế để giữ thuyền wafer trong các quy trình nhiệt độ cao trong chế tạo chất bán dẫn. Được làm từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao (SIC), các giá đỡ này thể hiện sự ổn định nhiệt tuyệt vời, kháng hóa học và độ cứng cơ học, các tính năng thiết yếu khi được sử dụng trong các quá trình như khuếch tán, oxy hóa và tăng trưởng epiticular.

Trong môi trường chế tạo bán dẫn đòi hỏi, bảo vệ tính toàn vẹn của wafer và giảm thiểu ô nhiễm là rất quan trọng. Những người giữ thuyền SIC cung cấp một nền tảng trơ, vững chắc có thể chịu đựng được môi trường lò cao trong khi duy trì tính toàn vẹn mà không bị biến dạng và không giải phóng các chất gây ô nhiễm. Sự trơ hóa hóa chất của chúng cho phép sử dụng chúng với các khí xử lý phản ứng, trong khi độ truyền nhiệt của chúng thúc đẩy làm nóng bề mặt của các tấm wafer để xử lý nhất quán.

Mỗi người giữ thuyền SIC được sản xuất với độ chính xác cao cho độ chính xác về chiều, giúp chúng dễ dàng chứa và thích nghi với bất kỳ loại thuyền wafer nào và cấu hình tải tự động. Cấu trúc cứng nhắc của chúng không chỉ tạo ra sự hỗ trợ mạnh mẽ, ổn định và đầy đủ cho các thuyền wafer mà còn làm giảm các biến đổi vi mô hoặc sự thay đổi vị trí có thể có trên các tấm wafer. Ngoài ra, silicon cacbua có khả năng chống mài mòn tuyệt vời và có thể xử lý chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại để cung cấp một cuộc sống lâu dài dẫn đến ít thời gian chết và thay thế các bộ phận lọ.

Các thuộc tính độc đáo của cacbua silicon có thể cung cấp thêm lợi ích liên quan đến sự sạch sẽ của quá trình. Không giống như kim loại hoặc vật liệu gốm cấp thấp hơn, sic không vảy, ra ngoài hoặc xuống cấp hóa học dưới nhiệt độ khắc nghiệt hoặc trong huyết tương. Điều này làm cho chủ sở hữu thuyền SIC trở thành một công cụ tuyệt vời cho các nhà sản xuất cố gắng hạn chế ô nhiễm phòng sạch cho các nút bán dẫn tiên tiến đòi hỏi năng suất và độ tinh khiết cao.

Chủ sở hữu thuyền SICOREX được sản xuất bằng cách sử dụng các quy trình đúc và thiêu kết độc đáo để đảm bảo cấu trúc vi mô và hiệu suất cơ học giữa các lô và trên nhiều người giữ thuyền. Ví dụ, hình dạng giữ hoặc cấu hình khe có thể được tùy chỉnh, cũng như loại gắn.

Cho dù được sử dụng trong các lò thẳng đứng hoặc lò phản ứng ngang, tùy chỉnh giá đỡ thuyền SiC SICS sẽ đáp ứng các dung sai cho các máy chủ tự bán dẫn thế hệ tiếp theo. Nếu bạn chọn các sản phẩm Semicorex, bạn sẽ biết mình đã làm việc với một nhà cung cấp có kiến thức, dành riêng cho sự xuất sắc của vật chất và cố gắng liên tục đổi mới các thành phần gốm liên quan đến độ tin cậy và phân phối.