Thuyền SiC để xử lý wafer

Được chế tạo từ cacbua silic có độ tinh khiết đặc biệt, Thuyền Semicorex SiC để Xử lý Tấm bán dẫn tự hào có cấu trúc bao gồm các khe chính xác để cố định các tấm bán dẫn, giảm thiểu mọi chuyển động trong quá trình vận hành. Việc lựa chọn cacbua silic làm vật liệu không chỉ đảm bảo độ cứng và khả năng phục hồi mà còn có khả năng chịu được nhiệt độ cao và tiếp xúc với hóa chất. Điều này làm cho Thuyền SiC để Xử lý wafer trở thành thành phần then chốt trong vô số giai đoạn sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như nuôi cấy tinh thể, khuếch tán, cấy ion và quá trình ăn mòn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Nổi bật nhờ tỷ lệ vô song giữa độ bền trên trọng lượng và đặc tính dẫn nhiệt vượt trội, Thuyền Semicorex SiC để Xử lý wafer trải qua quá trình nâng cao hơn nữa thông qua lớp phủ CVD SiC. Lớp phủ bổ sung này tăng cường khả năng chống lại sự khắc nghiệt của môi trường xử lý và bảo vệ nó khỏi sự xuống cấp hóa học và biến động nhiệt, kéo dài đáng kể tuổi thọ hoạt động của nó và đảm bảo hiệu suất ổn định trong các yêu cầu vận hành nghiêm ngặt.

Trong các hoạt động nhiệt như ủ hoặc khuếch tán, Thuyền SiC để Xử lý Tấm bán dẫn là công cụ giúp đạt được sự phân bổ nhiệt độ đồng đều trên bề mặt của tấm bán dẫn. Độ dẫn nhiệt tuyệt vời của nó tạo điều kiện phân tán nhiệt hiệu quả, giảm chênh lệch nhiệt và thúc đẩy tính đồng nhất trong kết quả quy trình.

Thuyền Semicorex SiC để xử lý wafer được đánh giá cao về độ tin cậy và hiệu suất vượt trội, đáp ứng các yêu cầu khắt khe của sản xuất chất bán dẫn hiện đại. Với khả năng thích ứng cho cả quy trình xử lý wafer theo mẻ và riêng lẻ, Thuyền SiC để Xử lý wafer là một công cụ thiết yếu cho các cơ sở sản xuất chất bán dẫn nhằm đạt được tiêu chuẩn sản phẩm vượt trội và năng suất tối đa. Vai trò của SiC Boat để xử lý wafer là rất quan trọng trong việc duy trì cả hai tính toàn vẹn và độ tin cậy của các tấm bán dẫn, tìm kiếm ứng dụng rộng rãi trên các thiết bị sản xuất chất bán dẫn, thiết bị công nghiệp và làm bộ phận thay thế.