Kẹp wafer bán dẫn

Các thành phần phủ silicon cacbua có độ tinh khiết cao, tiên tiến của Semicorex được chế tạo để chịu được các môi trường khắc nghiệt trong quy trình xử lý tấm bán dẫn. Kẹp wafer bán dẫn của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Kẹp bán dẫn siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao sử dụng trong quy trình xử lý wafer. Kẹp wafer bán dẫn của thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt và cải thiện quản lý năng suất để xử lý wafer bán dẫn. Cấu hình tiếp xúc bề mặt thấp giảm thiểu nguy cơ có các hạt ở mặt sau đối với các ứng dụng nhạy cảm.

Các thông số của mâm cặp wafer bán dẫn

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300