Kẹp wafer bán dẫn

Các thành phần phủ cacbua silicon có độ tinh khiết cao, tiên tiến của Semicorex được chế tạo để chịu được các môi trường khắc nghiệt trong quy trình xử lý wafer. Mâm cặp wafer bán dẫn của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Mâm cặp wafer bán dẫn siêu phẳng Semicorex được phủ SiC có độ tinh khiết cao được sử dụng trong quy trình xử lý wafer. Mâm kẹp lát bán dẫn bằng thiết bị MOCVD Tăng trưởng hợp chất có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, có độ ổn định cao trong môi trường khắc nghiệt và cải thiện khả năng quản lý năng suất cho quá trình xử lý lát bán dẫn. Các cấu hình tiếp xúc với bề mặt thấp giảm thiểu rủi ro của các hạt ở mặt sau đối với các ứng dụng nhạy cảm.

Các thông số của Chuck wafer bán dẫn

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300