Semicorex cung cấp thuyền bán dẫn, bệ và giá đỡ bán bán dẫn tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon cacbua trong nhiều năm. Thuyền wafer bán dẫn của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Thuyền wafer bán dẫn Semicorex được làm bằng gốm silicon cacbua thiêu kết, có khả năng chống ăn mòn tốt và khả năng chịu nhiệt độ cao và sốc nhiệt tuyệt vời. Gốm tiên tiến mang lại khả năng chịu nhiệt tuyệt vời và độ bền plasma đồng thời giảm thiểu các hạt và chất gây ô nhiễm cho các chất mang wafer công suất cao.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Thuyền bán dẫn chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Thuyền bán dẫn wafer của chúng tôi.
Các thông số của thuyền wafer bán dẫn
Đặc tính kỹ thuật |
||||
chỉ mục |
Đơn vị |
Giá trị |
||
Tên vật liệu |
Cacbua silic thiêu kết phản ứng |
Cacbua silic thiêu kết không áp suất |
Cacbua silic kết tinh lại |
|
Thành phần |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Mật độ lớn |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Độ bền uốn |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
cường độ nén |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
độ cứng |
Cái nút |
2700 |
2800 |
/ |
Độ bền phá vỡ |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Độ dẫn nhiệt |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hệ số giãn nở nhiệt |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Nhiệt dung riêng |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Nhiệt độ tối đa trong không khí |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Mô đun đàn hồi |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:
1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.
2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.
3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC
Các tính năng của thuyền wafer bán dẫn
Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt
Được phủ tinh thể SiC mịn cho bề mặt mịn
Độ bền cao chống lại việc làm sạch bằng hóa chất
Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra hiện tượng nứt và tách lớp.