Tấm vệ tinh

Tấm vệ tinh Semicorex là một chất mang wafer quan trọng trong quá trình tăng trưởng epiticular, đảm bảo lắng đọng đồng nhất và hiệu quả quá trình tối ưu. Được xây dựng từ than chì tinh khiết cao và được phủ một lớp cacbua silic (sic) mạnh mẽ, tấm này mang lại sự ổn định nhiệt đặc biệt, điện trở hóa học và cường độ cơ học, củng cố vị trí của nó như một thành phần không thể thiếu trong sản xuất bán dẫn hiệu suất cao.

Với đế than chì có độ tinh khiết cao, tấm vệ tinh vượt trội về độ dẫn nhiệt và tính toàn vẹn cấu trúc. CácLớp phủ sicTăng đáng kể độ bền của nó, cung cấp khả năng chống nhiệt độ cao, trơ hóa hóa học và giảm đáng kể việc tạo ra hạt. Sự kết hợp mạnh mẽ này đảm bảo rằng tấm chịu đựng các điều kiện xử lý khắc nghiệt trong khi luôn hoạt động ở mức cao. Cơ sở than chì tạo điều kiện cho việc truyền nhiệt hiệu quả, đảm bảo phân bố nhiệt độ đồng đều trên wafer, trong khi lớp phủ SIC bảo vệ chống lại khí xử lý ăn mòn, ngăn ngừa ô nhiễm và kéo dài tuổi thọ dịch vụ. Ngoài ra, bề mặt SIC giảm thiểu giải phóng hạt, rất quan trọng để đạt được chế tạo bán dẫn năng suất cao.

Được thiết kế dành riêng cho tích hợp liền mạch với các hệ thống Aixtron G5+, tấm vệ tinh đảm bảo định vị wafer chính xác và cân bằng quay, cần thiết để duy trì các điều kiện nhiệt ổn định và giảm tốc độ khuyết tật. Thành phần vật liệu tiên tiến của tấm không chỉ mở rộng tuổi thọ mà còn làm giảm đáng kể chi phí hoạt động và tăng cường năng suất sản xuất.

Chủ yếu được sử dụng trong quá trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), tấm vệ tinh rất quan trọng để phát triển các lớp epiticular trên các tấm bán dẫn. Nó đóng một vai trò quan trọng trong việc sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến, bao gồm đèn LED, thiết bị điện tử năng lượng dựa trên SIC và GAN, các thành phần quang tử và quang điện tử và các thiết bị RF tần số cao. Bằng cách đảm bảo các điều kiện nhiệt ổn định và giảm thiểu ô nhiễm, tấm vệ tinh đảm bảo sự phát triển của lớp epiticular phù hợp, dẫn đến việc xử lý wafer được cải thiện và tốc độ năng suất cao hơn. Thiết kế được tối ưu hóa của nó đảm bảo hỗ trợ wafer một cách hiệu quả, giảm các khiếm khuyết và đảm bảo độ chính xác trong suốt các giai đoạn xử lý bán dẫn.

Tấm vệ tinh Semicorex đóng vai trò là thành phần thiết yếu cho các lò phản ứng Epitaxy Aixtron G5+, cung cấp độ bền vô song, kháng hóa chất và hiệu suất nhiệt. Thành phần vật liệu tiên tiến và kỹ thuật của nó làm cho nó rất quan trọng đối với quy trình sản xuất chất bán dẫn, đảm bảo sản xuất các tấm wafer năng suất cao và chất lượng cao. Đầu tư vào tấm vệ tinh để nâng cao chế tạo chất bán dẫn của bạn và đạt được sự xuất sắc trong các quá trình tăng trưởng epiticular.