Robot tác động cuối cùng

Semicorex là nhà sản xuất hàng đầu thuộc sở hữu độc lập về Graphite phủ silicon cacbua, Graphite có độ tinh khiết cao được gia công chính xác, tập trung vào các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn là Graphite phủ cacbua silic, gốm cacbua silic, MOCVP. Robot End Effector của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Robot End Effector là bàn tay của robot di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang. Robot End Effector phải có kích thước chính xác và ổn định về nhiệt, đồng thời có bề mặt nhẵn, chống mài mòn để xử lý các tấm bán dẫn một cách an toàn mà không làm hỏng thiết bị hoặc tạo ra các hạt nhiễm bẩn. Robot End Effector được phủ bằng cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao của chúng tôi mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí là độ đồng đều nhiệt để có độ dày và độ bền lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ.

Các thông số của Robot End Effector

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300