Robot End Effector

Semicorex là nhà sản xuất độc lập hàng đầu về than chì phủ silicon carbide, than chì có độ tinh khiết cao được gia công chính xác tập trung vào các lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn silicon carbide phủ than chì, gốm silicon carbide, MOCVP. Robot End Effector của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Robot End Effector là bàn tay của rô-bốt di chuyển các tấm bán dẫn giữa các vị trí trong thiết bị xử lý tấm bán dẫn và vật mang. Robot End Effector phải chính xác về kích thước và ổn định nhiệt, đồng thời có bề mặt nhẵn, chống mài mòn để xử lý các tấm wafer một cách an toàn mà không làm hỏng thiết bị hoặc tạo ra ô nhiễm dạng hạt. Robot End Effector có lớp phủ silicon carbide (SiC) có độ tinh khiết cao của chúng tôi cung cấp khả năng chịu nhiệt vượt trội, đồng đều nhiệt cho độ dày và độ bền của lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất lâu bền.

Các thông số của Robot End Effector

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300