Bể thạch anh để xử lý ướt

Bể thạch anh để xử lý ướt, được chế tạo từ thạch anh bán dẫn, mang lại độ bền vượt trội và không phản ứng với nhiều loại hóa chất bao gồm axit sulfuric (H2SO4), hydro peroxide (H2O2) và dung dịch sạch tiêu chuẩn (SC1).

Một trong những ứng dụng chính của Bể thạch anh để xử lý ướt trong chế tạo tấm bán dẫn là làm sạch các tấm bán dẫn. Trong các bước chế tạo khác nhau, các tấm bán dẫn có thể được che để khắc các bộ phận cụ thể hoặc để hạn chế khuếch tán đến các khu vực được chỉ định. Sau khi hoàn tất một bước quy trình cụ thể, vật liệu che phủ phải được làm sạch hoàn toàn để chuẩn bị tấm bán dẫn cho bước tiếp theo. Bể thạch anh để xử lý ướt đóng một vai trò quan trọng trong quá trình làm sạch này, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được làm sạch hiệu quả mà không để lại bất kỳ cặn hoặc hạt nào có thể gây ô nhiễm cho các bước xử lý tiếp theo.

Khả năng chống lại các hóa chất mạnh của Bể thạch anh dành cho chế biến ướt là điều tối quan trọng trong các ứng dụng xử lý ướt. Những bể này được thiết kế để chịu được các hóa chất khắc nghiệt được sử dụng trong quá trình ăn mòn và làm sạch mà không phản ứng với chúng. Tính không phản ứng này đảm bảo rằng các hóa chất vẫn hoạt động hiệu quả và không xảy ra phản ứng hóa học không mong muốn nào có thể ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của tấm bán dẫn.

Trong quá trình làm sạch tấm bán dẫn, điều cần thiết là phải giảm thiểu sự nhiễm bẩn của các tấm bán dẫn bởi các hạt. Bể thạch anh Semicorex để xử lý ướt được thiết kế để giảm nguy cơ ô nhiễm, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được làm sạch kỹ lưỡng và hiệu quả. Bể thạch anh của chúng tôi có thể được cung cấp ở dạng mô hình được gia nhiệt và tuần hoàn, cho phép kiểm soát nhiệt độ chính xác và tuần hoàn liên tục các dung dịch làm sạch.

Một tính năng quan trọng khác của Bể thạch anh Semicorex để xử lý ướt là khả năng chịu nhiệt cao. Những bể này có thể hoạt động ở nhiệt độ lên tới 190°C, thích hợp cho các quy trình liên quan đến việc gia nhiệt dung dịch tẩy rửa hoặc ăn mòn. Khả năng chịu nhiệt cao đảm bảo rằng các bể duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và hiệu suất ngay cả dưới nhiệt độ cao. Điều này đặc biệt quan trọng trong các quy trình mà việc kiểm soát nhiệt độ là rất quan trọng để đạt được kết quả mong muốn.

Bể thạch anh để xử lý ướt cũng có độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống sốc nhiệt cao. Độ giãn nở nhiệt thấp giúp giảm thiểu nguy cơ nứt hoặc biến dạng do biến động nhiệt độ, đảm bảo tuổi thọ và độ tin cậy của bồn chứa. Khả năng chống sốc nhiệt cao cho phép bể thạch anh chịu được sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng mà không ảnh hưởng đến tính toàn vẹn cấu trúc của chúng. Các đặc tính nhiệt này rất cần thiết để duy trì độ chính xác và độ tin cậy của các bước xử lý ướt trong chế tạo tấm bán dẫn.

Độ trong suốt cao là một ưu điểm khác của Bể thạch anh Semicorex dành cho Xử lý ướt. Độ trong suốt của vật liệu thạch anh cho phép kiểm tra trực quan các tấm bán dẫn và dung dịch làm sạch hoặc ăn mòn trong quá trình xử lý. Khả năng hiển thị này giúp tăng cường kiểm soát và giám sát quy trình, đảm bảo rằng mọi vấn đề đều có thể được phát hiện và giải quyết kịp thời. Khả năng giám sát trực quan quá trình này đặc biệt quan trọng để đảm bảo chất lượng và tính nhất quán của các bước làm sạch và ăn mòn wafer.

Tại Semicorex, chúng tôi sử dụng công nghệ gia công tiên tiến để sản xuất Bể thạch anh chất lượng cao dành cho Gia công ướt. Khả năng sản xuất của chúng tôi bao gồm lưỡi cắt kim cương và cắt laser theo kích thước, đảm bảo kích thước chính xác và chất lượng hoàn thiện cao. Chúng tôi cũng sử dụng các bề mặt có độ bóng cao để giảm thiểu nguy cơ tạo ra hạt và ô nhiễm. Các thợ hàn và thợ máy thạch anh giàu kinh nghiệm của chúng tôi tạo ra các bể thạch anh có độ tinh khiết cao với các đầu vào hàn và giá đỡ đầu dò có độ bền cao, được tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của khách hàng.

Để nâng cao hiệu suất và độ bền của Bể thạch anh dành cho Xử lý ướt, chúng tôi ủ chúng để giảm ứng suất nhiệt. Ủ là một quá trình xử lý nhiệt nhằm làm giảm ứng suất bên trong vật liệu thạch anh, cải thiện khả năng chống sốc nhiệt và nâng cao độ bền tổng thể của nó.

Kích thước và cấu hình tùy chỉnh là cần thiết để đáp ứng các yêu cầu đa dạng của quy trình sản xuất chất bán dẫn. Tại Semicorex, chúng tôi cung cấp nhiều kích cỡ và cấu hình tùy chỉnh cho bể thạch anh, cho phép chúng tôi cung cấp các giải pháp phù hợp với nhu cầu cụ thể của khách hàng. Cho dù đó là bổ sung các đầu vào thạch anh hàn cường độ cao, giá đỡ đầu dò hay các tính năng tùy chỉnh khác, chúng tôi đều hợp tác chặt chẽ với khách hàng để cung cấp các bể thạch anh đáp ứng các thông số kỹ thuật chính xác của họ.