Bể chứa chất lỏng thạch anh

Bể chứa chất lỏng Semicorex Quartz là một thùng chứa được xây dựng có mục đích cho các ứng dụng sạch ướt bán dẫn trong đó xử lý chất lỏng đòi hỏi một mức độ sạch và độ ổn định của vật liệu phi thường. Chủ yếu, bể này được sử dụng để thu thập chất thải hoặc chất lỏng còn lại từ các ứng dụng làm sạch wafer. Nó là vô giá cho quá trình kiểm soát năng suất và ô nhiễm. Trong quá trình làm sạch ướt, rửa wafer bán dẫn liên quan đến lượng lớn nước siêu tinh khiết hoặc thuốc thử hóa học trở thành chất lỏng chất thải ở cuối quá trình rửa. Ngoài ra, chất lỏng còn lại sau khi rửa sạch phải được thu thập vì nó có các tạp chất vi lượng tiềm năng, hoặc các thành phần hóa học có giá trị không được đi xuống cống. Chất lỏng chất thải cũng phải được thu thập khi các bước phủ được thực hiện như các ứng dụng photoresist, trong đó dư lượng thêm hoặc chất thải phải được thu thập. Do đó, bể chứa chất lỏng thạch anh có các sản phẩm hoàn hảo để cung cấp độ tinh khiết cao, khả năng tương thích hóa học và tính chất gây ô nhiễm thấp.

Bể được làm bằng thạch anh hợp nhất có độ tinh khiết cao, rất kháng với các axit mạnh, kiềm và dung môi thường xuyên được sử dụng trong việc làm sạch và in thạch bản. Cho dù một thùng chứa thông thường, thạch anh cho các mảnh vật liệu chất lỏng có cơ hội tốt nhất để không tiếp xúc với chất gây ô nhiễm thứ cấp, lọc hoặc phơi nhiễm ion không mong muốn. Một trong những khía cạnh hàng đầu của bể chứa chất lỏng thạch anh là khả năng hỗ trợ các quy trình phân tích trong FAB bán dẫn, vì các chất lỏng còn lại được thu thập trong bình thạch anh có thể được sử dụng trong các quá trình hạ nguồn như phát hiện tạp chất, phân tích ô nhiễm và tái chế hóa học. Kế thừa với các tính chất của thạch anh, nó có thể chứa chất lỏng còn lại một cách an toàn và cho phép đánh giá thị giác mà không có nguy cơ tương tác do sự trơ và minh bạch của nó, ngoài sự ổn định nhiệt của nó, cho phép bất kỳ chất lỏng nào trong bể được tăng tốc nhẹ đối với bất kỳ nhiệt độ nào mà không có nguy cơ bị suy giảm hoặc tác động đến chất lỏng. Điều đó nói rằng, bể chứa chất lỏng thạch anh được thiết kế để thu thập chất thải và lưu trữ ngắn hạn trước khi chúng được chuyển hoặc xử lý.

Mọi chi tiết của các vấn đề kiểm soát ô nhiễm quy trình, đặc biệt là khi các nút sản xuất thiết bị tiên tiến co lại và các thông số độ sạch trở nên nghiêm ngặt hơn. Bể chứa chất lỏng thạch anh đảm bảo các nhà khai thác FAB tự tin rằng quản lý chất thải không trở thành nguồn ô nhiễm thứ cấp. Bằng cách chứa các giải pháp làm sạch còn lại hoặc chất lỏng quá trình dư thừa, nó ngăn các quy trình công việc ngược dòng và hạ nguồn được thực hiện một cách hợp lệ. Ngoài ra, bể hỗ trợ các mục tiêu bền vững của FAB, vì chất lỏng được thu thập có thể được xử lý để tinh chế và tái sử dụng thuốc thử, do đó sử dụng một quy trình ít sử dụng nhiều hóa chất khác và dẫn đến tải trọng môi trường ít hơn.

Từ quan điểm thực tế, thiết kế của bể chứa chất lỏng thạch anh cho phép nó dễ dàng kết hợp vào các hệ thống quản lý hóa chất và phần cứng làm sạch ướt. Yếu tố hình thức có thể được điều chỉnh theo cấu hình công cụ hiện có. Phương pháp chế tạo chính xác đảm bảo kích thước tròn và bề mặt bên trong mịn sẽ dễ dàng vận chuyển và lưu trữ tất cả các chất lỏng trong môi trường FAB bán dẫn của bạn. Một cấu trúc thạch anh không xốp sẽ ngăn chặn sự hấp thụ của các chất gây ô nhiễm và cho phép làm sạch bể, làm cho nó có khả năng sử dụng lại, không giống như các thùng nhựa thông thường hoạt động trong môi trường kiểm soát hóa học ở các hoạt động thể tích đáng kể.

Điểm mấu chốt, bể chứa chất lỏng thạch anh được thiết kế đặc biệt cho tầm quan trọng trong tất cả các ứng dụng làm sạch và lớp phủ ướt bán dẫn. Bằng cách tạo ra độ tinh khiết vật liệu tốt nhất có thể, khả năng chống hóa học và lưu trữ chất lỏng tự do trong cơ sở vận hành chất bán dẫn, FAB có thể kiểm soát quá trình của họ một cách hiệu quả mà không có quá nhiều ô nhiễm. Cho dù một FAB đang sử dụng bể để nhận bộ sưu tập chất thải trực tiếp, để thu hồi thuốc thử, v.v., hoặc để phân tích tạp chất, lịch sử của các bước quan trọng trong quá trình vẫn ở trạng thái ban đầu mà không ảnh hưởng đến hoạt động. Khi bạn đang tìm cách tối đa hóa năng suất, giảm thiểu rủi ro cho quá trình làm việc của bạn để mất sự ổn định và tối đa hóa hiệu quả của việc quản lý hóa chất của các sản phẩm phụ, ô nhiễm thạch anh tự do là lựa chọn duy nhất cung cấp hiệu suất đáng tin cậy với tất cả việc làm sạch ướt của bạn.