Bể làm sạch

Bể làm sạch Semicorex được chế tạo từ thạch anh chất lượng cao, mang lại hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được làm sạch hoàn toàn và không có bất kỳ chất gây ô nhiễm nào có thể ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của chúng.

Thạch anh được chọn để chế tạo bể làm sạch do khả năng kháng hóa chất đặc biệt và ổn định nhiệt. Bể làm sạch thạch anh chống lại các hóa chất khắc nghiệt thường được sử dụng trong quá trình làm sạch, chẳng hạn như axit hydrofluoric và các chất ăn mòn mạnh khác. Độ ổn định nhiệt của nó đảm bảo rằng nó có thể chịu được nhiệt độ cao thường được yêu cầu trong xử lý chất bán dẫn mà không bị biến dạng hoặc xuống cấp, duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và hiệu suất trong thời gian dài.

Thiết kế của bể làm sạch được thiết kế tỉ mỉ nhằm tối ưu hóa quá trình làm sạch. Bên trong mịn, liền mạch của nó giúp giảm thiểu việc tạo ra các hạt và ngăn ngừa sự tích tụ các chất gây ô nhiễm. Bể làm sạch được thiết kế để phù hợp với nhiều phương pháp làm sạch khác nhau, bao gồm bể hóa chất, làm sạch siêu âm và làm sạch siêu âm. Mỗi phương pháp đều có những ưu điểm riêng và tính linh hoạt của bể làm sạch cho phép sử dụng phương pháp này trong nhiều giai đoạn của quy trình làm sạch, từ làm sạch tấm wafer ban đầu đến rửa và sấy khô cuối cùng.

Trong bể hóa chất, bể làm sạch đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được tiếp xúc đồng đều với dung dịch tẩy rửa, thúc đẩy quá trình làm sạch một cách nhất quán và triệt để. Sự phơi nhiễm đồng đều là rất quan trọng trong việc loại bỏ các hạt vật chất, cặn hữu cơ và các chất ô nhiễm kim loại khỏi bề mặt tấm bán dẫn. Trong quá trình làm sạch siêu âm và siêu âm, sóng âm thanh tần số cao tạo ra các bọt khí siêu nhỏ trong dung dịch làm sạch. Khi những bong bóng này xẹp xuống, chúng tạo ra các sóng xung kích mạnh đánh bật và loại bỏ các chất gây ô nhiễm khỏi bề mặt tấm bán dẫn. Cấu trúc thạch anh chắc chắn của bể làm sạch có thể chịu được các điều kiện khắc nghiệt do các phương pháp làm sạch này tạo ra, đảm bảo độ bền và hiệu quả lâu dài.