Quy trình ống cho lò khuếch tán

Ống quy trình Semicorex cho lò khuếch tán thường được làm bằng SiC có độ tinh khiết cao với lớp phủ CVD SiC. Những vật liệu này được chọn vì tính ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng chống khí ăn mòn và nhiệt độ cao.

Ống quy trình Semicorex dùng cho lò khuếch tán có dạng hình trụ, một đầu kín và một đầu hở. Nó được đưa vào lò khuếch tán, tạo thành một buồng kín, nơi diễn ra quá trình khuếch tán. Ống được thiết kế cẩn thận để ngăn chặn mọi rò rỉ khí và duy trì bầu không khí được kiểm soát trong lò.

một ống xử lý cho lò khuếch tán đóng một vai trò quan trọng trong việc chế tạo các thiết bị bán dẫn. Nó cung cấp một môi trường được kiểm soát cho các quy trình khuếch tán, đảm bảo các cấu hình pha tạp đồng nhất và kiểm soát chính xác các tham số quy trình. Việc sử dụng vật liệu có độ tinh khiết cao và cân nhắc thiết kế cẩn thận giúp duy trì tính toàn vẹn của ống xử lý và đảm bảo sản xuất các tấm bán dẫn chất lượng cao.