Sic không xốp

Chuck chân không sic sotous SIC đại diện cho một giải pháp xử lý nhằm đạt được vị trí chính xác, ổn định của các tấm wafer trong tất cả các giai đoạn xử lý bán dẫn. Chuck chân không này giữ độ bám tuyệt vời để xử lý wafer và các ứng dụng căn chỉnh cơ chất, do đó tăng cường cả độ tin cậy và hiệu suất. Các lựa chọn vật liệu cơ bản của SUS430, hợp kim nhôm 6061, gốm gốm alumina dày đặc, đá granit và silicon cacbua gốm cung cấp tính linh hoạt của người dùng để chọn vật liệu tối ưu theo các yêu cầu riêng lẻ trong hiệu suất nhiệt, tính chất cơ học hoặc trọng lượng.

Lựa chọn vật liệu tốt hơn: Phần dưới của muck chân không sic xốp có thể được thay đổi với các vật liệu khác nhau để phù hợp với các nhu cầu khác nhau:

• SUS430: Một tùy chọn giá rẻ chống gỉ tốt cho các mục đích sử dụng phổ biến.
• Hợp kim nhôm 6061: Mang lại sự pha trộn giữa sức mạnh, trọng lượng nhẹ và khả năng làm việc tuyệt vời, làm cho nó tốt cho việc xử lý wafer thông thường.
• Gốm Alumina dày đặc (99% AL2O3): Cung cấp độ ổn định nhiệt tuyệt vời và độ cứng cao, phù hợp cho các ứng dụng nhiệt độ cao hoặc chính xác.
• Granit: Được biết đến với độ phẳng và độ ổn định đặc biệt, đá granit cung cấp sự mở rộng nhiệt thấp, lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ chính xác cao.
• Gốm silicon cacbua: Được biết đến với độ dẫn nhiệt cao, điện trở hóa học và độ bền, SIC là lý tưởng cho môi trường hiệu suất cao nơi gặp điều kiện khắc nghiệt.

Độ phẳng chính xác cao: Chuck chân không sic xốp đảm bảo độ phẳng vượt trội, với độ chính xác khác nhau dựa trên vật liệu được sử dụng. Xếp hạng vật liệu từ độ chính xác độ phẳng cao nhất đến thấp nhất là:

Granit và silicon cacbua gốm: Cả hai vật liệu đều có độ phẳng chính xác cao, đảm bảo sự ổn định wafer ngay cả trong môi trường xử lý đòi hỏi khắt khe nhất.

Alumina dày đặc (99% AL2O3): độ phẳng ít hơn một chút so với đá granit và sic, nhưng vẫn cung cấp độ chính xác tốt cho các ứng dụng bán dẫn chung.

Hợp kim nhôm 6061 và SUS430: Cung cấp độ chính xác độ phẳng thấp hơn một chút nhưng vẫn rất đáng tin cậy để xử lý wafer trong các ứng dụng ít đòi hỏi hơn.

Biến thể trọng lượng cho các nhu cầu cụ thể: Chuck chân không sic xốp cho phép người dùng chọn từ nhiều tùy chọn vật liệu khác nhau dựa trên yêu cầu trọng lượng:

Hợp kim nhôm 6061: Lựa chọn vật liệu nhẹ nhất, cung cấp khả năng xử lý và vận chuyển dễ dàng.

Đá granit: Một vật liệu cơ bản nặng hơn cung cấp độ ổn định cao và giảm thiểu các rung động trong quá trình xử lý.

Gốm silicon cacbua: có trọng lượng vừa phải, mang lại sự cân bằng của độ bền và độ dẫn nhiệt.

Gốm Alumina dày đặc: Tùy chọn nặng nhất, lý tưởng cho các ứng dụng trong đó độ ổn định và khả năng chịu nhiệt cao được ưu tiên.

Độ bền và hiệu suất cao: Chuck chân không SIC xốp được thiết kế cho hiệu suất lâu dài, có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ khắc nghiệt và hao mòn liên quan đến xử lý chất bán dẫn. Biến thể gốm silicon cacbua đặc biệt có lợi cho môi trường nhiệt độ cao và tích cực về mặt hóa học do khả năng kháng nhiệt và ăn mòn đặc biệt của nó.

Các giải pháp hiệu quả về chi phí: Với nhiều tùy chọn vật liệu, Chuck chân không sic xốp cung cấp một giải pháp hiệu quả về chi phí có thể được điều chỉnh theo các ngân sách và yêu cầu ứng dụng khác nhau. Đối với các ứng dụng chung, hợp kim nhôm và SUS430 có hiệu quả về chi phí trong khi vẫn cung cấp hiệu suất thỏa đáng. Đối với các môi trường khắt khe hơn, các tùy chọn gốm bằng đá granit hoặc sic cung cấp hiệu suất và độ bền nâng cao.

Ứng dụng:

Chuck chân không sic xốp chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để xử lý wafer, bao gồm cả trong các quy trình như:

• Giảm giá và cắt
• Sản xuất quang điện
• Tăng trưởng epitaxy của MOCVD và CVD
• Cấy ion
• Quá trình oxy hóa và khuếch tán

Chuck chân không xốp Sicorex Sic nổi bật vì độ chính xác, tính linh hoạt và độ bền của nó. Cho dù bạn yêu cầu các giải pháp nhẹ để xử lý chung hoặc vật liệu nâng cao cho các quy trình bán dẫn hiệu suất cao, sản phẩm của chúng tôi cung cấp một loạt các tùy chọn để đáp ứng nhu cầu của bạn. Được sản xuất với các tiêu chuẩn chất lượng cao nhất, Chucks chân không của chúng tôi đảm bảo xử lý wafer đáng tin cậy và hiệu quả cho các ứng dụng khác nhau, mang lại kết quả nhất quán trong cả hai quy trình tiêu chuẩn và chuyên dụng.

Đối với các ngành công nghiệp mà sự ổn định của wafer và xử lý chính xác là rất quan trọng, muck chân không sic xốp cung cấp một giải pháp lý tưởng. Với việc lựa chọn vật liệu, độ chính xác cao và độ bền vượt trội, đây là lựa chọn hoàn hảo cho một loạt các quy trình bán dẫn.