Tấm SIC xốp Semicorex là một vật liệu gốm tiên tiến được thiết kế cho các ứng dụng chính xác cao, cung cấp cường độ cơ học vượt trội, độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất. *
Tấm SIC xốp Semicorex là một vật liệu gốm hiệu suất cao được thiết kế cho các ứng dụng sản xuất bán dẫn và chính xác tiên tiến. Được thiết kế với cấu trúc xốp được kiểm soát tinh xảo, tấm này cung cấp sức mạnh cơ học đặc biệt, độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng để sử dụng làmChuck chân khôngTrong xử lý bán dẫn.
Được xử lý bằng cách thiêu kết chính xác và hình thành lỗ chân lông, tấm SIC xốp có độ xốp đồng đều và tính thấm không khí tối ưu hóa do đó đảm bảo sự hấp phụ an toàn và ổn định của các tấm vải mỏng, tấm kính và các chất nền tinh tế khác. Phân phối kích thước lỗ rỗng được kiểm soát cẩn thận sẽ cho phép hút chân không hiệu quả trong khi giữ các thành phần cấu trúc của nó với nhau cho đến khi nguyên tử cuối cùng, hầu như ngăn chặn biến dạng hoặc thiệt hại cho vật liệu nhằm xử lý thêm: wafer.
Độ dẫn nhiệt tuyệt vời của nó làm cho tấm sic xốp trở thành một trong những ứng cử viên tốt nhất để tản nhiệt nhanh với sự phân bố đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt. Điều này trở nên quan trọng trong nhiều loại quy trình sản xuất chất bán dẫn để duy trì sự ổn định trong điều kiện nhiệt, liên quan trực tiếp đến năng suất và chất lượng của sản phẩm. Ngoài ra, cacbua silicon thể hiện khả năng chống mài mòn tốt và mức độ cứng tương đối cao, do đó mang lại tuổi thọ cao hơn cho tấm vì hao mòn bề mặt và ô nhiễm bị trì hoãn trong việc sử dụng mở rộng.
Hóa học hóa học là một đặc điểm quan trọng khác của tấm sic xốp. Nó thể hiện khả năng kháng axit, kiềm và tiếp xúc với huyết tương mạnh mẽ, làm cho nó phù hợp với môi trường khắc nghiệt trong chế tạo bán dẫn, như khắc, lắng đọng và chế biến hóa học. Bản chất không phản ứng của SIC ngăn chặn các tương tác hóa học không mong muốn, bảo tồn độ tinh khiết của các vật liệu được xử lý và tăng cường độ tin cậy sản xuất.
Hơn nữa, bản chất nhẹ của sic xốp, kết hợp với các tính chất cơ học mạnh mẽ của nó, tạo điều kiện dễ dàng xử lý và tích hợp vào máy móc chính xác. Hệ số giãn nở nhiệt thấp đảm bảo độ ổn định kích thước ngay cả dưới sự dao động nhiệt độ cực cao, giảm thiểu nguy cơ cong vênh hoặc sai lệch trong quá trình hoạt động.
Tấm SIC xốp có thể được tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cụ thể, bao gồm các biến thể về độ xốp, độ dày và hoàn thiện bề mặt. Các kỹ thuật gia công và đánh bóng tiên tiến có thể được áp dụng để đạt được các bề mặt cực phù hợp với độ nhám tối thiểu, tăng cường hơn nữa hiệu suất của nó như một vật liệu Chuck chân không.
Tấm cacbua silicon xốp Semicorex là một thành phần gốm chuyên dụng cao, cung cấp sự kết hợp của cường độ cao, độ ổn định nhiệt và hóa học tuyệt vời, và khả năng chống mài mòn vượt trội. Cấu trúc xốp độc đáo của nó cho phép hút chân không hiệu quả, đảm bảo xử lý wafer an toàn trong các ngành bán dẫn và công nghiệp chính xác. Do đó, nó là một vật liệu thiết yếu cho các ứng dụng chính xác cao trong đó hiệu suất, độ bền và độ tin cậy là tối quan trọng.