Sic Chuck xốp

Chuck sic xốp semicorex là một phần gốm đã được lắp ráp với độ chính xác để xử lý an toàn, hiệu quả các chất nền wafer cho các ứng dụng bán dẫn thông qua các bước quy trình như kiểm tra, thử nghiệm và in thạch bản. Chuck được sản xuất bằng gốm cacbua silicon micro (SIC). SIC có cường độ cơ học, điện trở hóa học và tính chất ổn định nhiệt cần thiết cho môi trường sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.

Một đặc tính thiết yếu của mâm cặp sic xốp là cấu trúc vi mô độc đáo của nó, thể hiện độ xốp 35%-40%. Với độ xốp của mâm cặp được điều khiển chặt, thiết kế quá mức cho phép hút chân không được phân phối đều trên Chuck tạo ra sự hỗ trợ ổn định và không tiếp xúc nhất quán cho các chất nền wafer tinh tế thông thường: silicon hoặc GAN và các chất bán dẫn hợp chất khác.  Chế độ hút chân không tránh được cả ô nhiễm hạt và thiệt hại cơ học, do đó bảo tồn tính toàn vẹn của wafer trong quá trình.

Cơ thể gốm của mâm cặp chủ yếu là sic có độ tinh khiết cao, với các loại gốm khác, chẳng hạn như alumina (AL2O3), có khả năng được sử dụng cho một số lớp chức năng hạn chế tùy thuộc vào ứng dụng. Nghiên cứu và phát triển vật liệu cho phép kích thước lỗ rỗng và phân phối được quản lý để thiết kế luồng khí và giữ lực tùy thuộc vào kích thước wafer và điều kiện xử lý. Nếu điều quan trọng là kiểm soát chân không trên các tấm vải mỏng hơn, kích thước lỗ rỗng nhỏ hơn sẽ được kết hợp. Đối với tốc độ dòng chảy nhanh hơn khi thích hợp, kích thước lỗ rỗng lớn hơn sẽ được sử dụng.

Chucks xốp thể hiện sự thay đổi màu sắc là kết quả của kích thước lỗ rỗng, thành phần gốm và điều kiện bắn. Các mucks sic có xu hướng có màu đen hoặc xám đen vì màu của cacbua silic có màu xám hoặc đen, tuy nhiên các mâm cặp có hàm lượng alumina lớn có xu hướng có màu trắng. Phương sai về màu sắc không ảnh hưởng đến hiệu suất của sản phẩm và chỉ đại diện cho các thuộc tính được thiết kế được tạo cho các ứng dụng cụ thể để tuân thủ các nhu cầu cụ thể của khách hàng.

Trong các công cụ xử lý wafer cao cấp, độ ổn định nhiệt và trơ hóa hóa học là hai tính năng quan trọng nhất. Carbide silicon cung cấp khả năng chống lại khí ăn mòn tuyệt vời và đạp xe nhiệt. Chuck sic xốp hoạt động thành công trong các buồng chân không và các công cụ khắc plasma, và nó tiếp tục hoạt động tốt với nhiệt độ thay đổi nhanh chóng. Khả năng duy trì sự ổn định độ mờ của Chuck đảm bảo rằng wafer vẫn ở cùng một vị trí, mặc dù các yêu cầu chính xác có thể ở dưới micron phụ tùy thuộc vào quá trình góp phần ổn định kích thước đảm bảo độ chính xác.

Các mucks sic xốp semicorex được thực hiện bằng cách sử dụng các quy trình hình thành và thiêu kết được ủy quyền cung cấp độ xốp đồng đều, cường độ uốn cao và mở rộng nhiệt thấp. Mỗi muck được kiểm tra về cấu trúc lỗ rỗng, độ phẳng và hiệu suất chân không để đảm bảo một sản phẩm đáng tin cậy và lặp lại. Thiết kế tùy chỉnh cũng có sẵn để phù hợp với kích thước wafer cụ thể và các yêu cầu tích hợp hệ thống như kênh dòng khí phía sau hoặc các tính năng lắp.

Tóm lại, SIC Chuck xốp là một hệ thống hỗ trợ cơ chất có độ tin cậy cao, được thiết kế cẩn thận để hoạt động cùng với các yêu cầu xử lý wafer chính xác. Với khả năng giữ chân không cao, cấu trúc lỗ rỗng có thể tùy chỉnh và độ ổn định vật liệu nổi bật, đây là một sản phẩm không thể thiếu trong các dòng chế tạo chất bán dẫn ngày nay.