Hành tinh nhạy cảm

Semicorex Planetary Pasceptor là một thành phần không thể thiếu cho các lò phản ứng epitax của chất bán dẫn, được thiết kế đặc biệt cho thiết bị Aixtron G5+. Được xây dựng từ than chì tinh khiết cao vàĐược phủ bằng cacbua silicon (sic), bộ nhớ này đảm bảo sự ổn định nhiệt vượt trội, khả năng chống hóa học đặc biệt và hiệu suất vô song trong môi trường nhiệt độ cao.

Lò phản ứng Epitaxy Aixtron G5+ là một chuẩn mực trong ngành công nghiệp GaN, SIC và các quá trình tăng trưởng bán dẫn hợp chất khác. Nhiễm trùng hành tinh là then chốt trong việc tối ưu hóa dòng khí, đảm bảo xoay vòng chính xác, duy trì kiểm soát nhiệt độ chính xác và đạt được sự lắng đọng đồng đều của các lớp epiticular. Thiết kế sáng tạo của nó giúp tăng cường đáng kể khả năng lặp lại quá trình, làm cho nó trở thành lựa chọn lý tưởng cho môi trường sản xuất khối lượng lớn.

Các tính năng chính  

- Thành phần vật liệu tiên tiến: Được làm từ than chì tinh khiết cao với lớp phủ SIC, cung cấp độ bền nâng cao và khả năng chống lại các điều kiện quy trình khắc nghiệt.  

- Hiệu suất nhiệt tối ưu hóa: Đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều, quan trọng cho sự phát triển lớp epiticular có độ chính xác cao.  

- Kháng hóa chất: Lớp phủ SIC ngăn chặn quá trình oxy hóa than chì, kéo dài tuổi thọ của độ nhạy và duy trì độ tinh khiết của quá trình.  

- Kỹ thuật chính xác: Được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các hệ thống Aixtron G5+, đảm bảo tích hợp liền mạch và hiệu quả của lò phản ứng tối ưu.  

- Tính đồng nhất bề mặt cao: Giảm thiểu ô nhiễm hạt, hỗ trợ chất lượng wafer vượt trội và năng suất cao hơn trong sản xuất chất bán dẫn.  

Ưu điểm của bộ nhớ hành tinh của chúng ta  

- Cuộc sống dịch vụ mở rộng: TheLớp phủ sicGiảm đáng kể hao mòn, dẫn đến tần số thay thế thấp hơn và giảm chi phí hoạt động.  

- Cải thiện độ ổn định của quá trình: đảm bảo sưởi ấm nhất quán và độ dốc nhiệt tối thiểu, dẫn đến sản xuất wafer chất lượng cao.  

- Khả năng tương thích & Tùy chỉnh: Có sẵn trong các thiết kế tiêu chuẩn và tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu quy trình AIXTRON G5+ cụ thể.  

Than chìCác bộ phận đóng vai trò không thể thiếu và rất quan trọng trong quá trình bán dẫn. Chất lượng của vật liệu than chì có tác động lớn đến chất lượng của các sản phẩm hoàn chỉnh. Tính nhất quán hàng loạt than chì và tính đồng nhất vật liệu của chúng tôi có thể được kiểm soát và đảm bảo thông qua quá trình sản xuất.

1. Sản xuất lô nhỏ, lò cacbon hóa chỉ sử dụng một lò nhỏ chỉ với 50 mét khối

2. Mỗi mảnh vật liệu được theo dõi và theo dõi

3. Giám sát nhiệt độ đa điểm trong không gian lò để đảm bảo rằng chênh lệch nhiệt độ được giữ trong một phạm vi rất nhỏ

4. Giám sát nhiệt độ đa điểm trên vật liệu để đảm bảo rằng chênh lệch nhiệt độ được giữ trong một phạm vi rất nhỏ

Semicorex Hành tinh Masceptor là giải pháp cao cấp cho các lò phản ứng Aixtron G5+, cung cấp độ ổn định nhiệt vượt trội, kháng hóa chất và hiệu suất chính xác. Được thiết kế cho các quy trình sản xuất bán dẫn đòi hỏi khắt khe nhất, nó thúc đẩy năng suất wafer cao hơn, giảm thiểu rủi ro ô nhiễm và kéo dài tuổi thọ thiết bị. Nâng cấp hệ thống epitaxy của bạn với bộ nhớ hàng đầu cho kết quả chưa từng có.