Chân đế thuyền thạch anh quang điện

Dấu chấm phẩykhung thuyền thạch anh quang điệnđược sản xuất chính xác từ vật liệu thạch anh quang điện có độ tinh khiết cao thông qua các quy trình bao gồm xẻ rãnh, hàn và hoàn thiện mờ. Chúng thường được sử dụng với thiết bị nạp tự động để đặt thuyền thạch anh và các tấm bán dẫn đã nạp của chúng vào trong ống lò thạch anh một cách ổn định và an toàn, cho phép xử lý tấm bán dẫn ở nhiệt độ cao quy mô lớn, bao gồm khuếch tán, oxy hóa, ủ và LPCVD và PECVD.

Ưu điểm của khung thuyền thạch anh quang điện Semicorex

1. Khả năng chịu nhiệt vượt trội

Quang điện Semicorexthạch anhGiá đỡ thuyền có khả năng chịu nhiệt vượt trội và có thể hoạt động ổn định trong lò nung nhiệt độ cao trong thời gian dài. Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex có thể duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của chúng khi nhiệt độ lên tới 1200oC, giúp tránh hiệu quả nguy cơ biến dạng và tan chảy do nhiệt độ cao.

2. Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội

Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex cung cấp sự hỗ trợ ổn định cho quá trình xử lý nhiệt wafer nhờ hệ số giãn nở nhiệt thấp, cho phép chúng chịu được những thay đổi nhiệt độ mạnh mẽ mà không bị nứt.

3. Kháng hóa chất đáng tin cậy

Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex có độ trơ cao đối với các khí axit và kiềm cũng như các chất tạp chất khác nhau và chúng có thể hoạt động ổn định trong môi trường ăn mòn nhiệt độ cao phức tạp nhờ khả năng kháng hóa chất đáng tin cậy.

4. Hiệu suất làm sạch cực cao

Được sản xuất từ ​​thạch anh cấp quang điện, giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex có độ tinh khiết cao và hàm lượng tạp chất kim loại thấp, do đó loại bỏ hiệu quả ô nhiễm wafer do tạp chất thoát ra trong xử lý nhiệt.

Ứng dụng trong ngành quang điện

1. Quá trình khuếch tán

Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex rất phù hợp cho các ứng dụng trong quá trình khuếch tán, chẳng hạn như khuếch tán phốt pho và khuếch tán boron, đồng thời có thể tạo điều kiện thuận lợi cho phản ứng giữa các tấm bán dẫn và khí pha tạp để tạo ra các mối nối PN.

2. Quá trình oxy hóa

Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex thích hợp cho việc sử dụng các điều kiện xử lý oxy hóa, có thể góp phần hình thành đồng đều các lớp oxit trên bề mặt wafer.

3. Quá trình ủ

Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex được sử dụng để giữ thuyền wafer và ủ wafer trong điều kiện nhiệt độ cao, giúp loại bỏ ứng suất bên trong tấm wafer và cải thiện chất lượng tinh thể của wafer.

4. Quy trình LPCVD và PECVD

Giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex có thể hỗ trợ thuyền thạch anh và tấm bán dẫn trong điều kiện lắng đọng hơi hóa học được tăng cường bằng plasma hoặc áp suất thấp, tạo điều kiện thuận lợi cho việc hình thành màng mỏng trên bề mặt tấm bán dẫn.

Hưởng lợi từ hiệu suất tuyệt vời của chúng, giá đỡ thuyền thạch anh quang điện Semicorex có thể đảm bảo vị trí ổn định của thuyền thạch anh và các tấm bán dẫn được tải của chúng trong môi trường vận hành đầy thách thức. Chúng góp phần phân phối đồng đều dòng nhiệt và khí trong ống lò thạch anh và đảm bảo tính nhất quán của quá trình xử lý nhiệt, từ đó cải thiện đáng kể hiệu suất và hiệu quả sản xuất của pin mặt trời.