Mâm cặp SiC siêu nhỏ

Để mang lại độ chính xác, ổn định cũng như độ sạch vượt trội cho quy trình xử lý wafer tiên tiến, Đầu cặp SiC Micropious được chế tạo từ cacbua silic có độ tinh khiết rất cao và có cấu trúc lỗ xốp siêu nhỏ (hoặc “lỗ siêu nhỏ”) phân bố đồng đều, dẫn đến sự phân bố hấp phụ chân không rất đồng đều trên toàn bộ bề mặt đầu cặp có thể sử dụng được. Những mâm cặp này được thiết kế đặc biệt để đáp ứng nhu cầu khắt khe của sản xuất chất bán dẫn, xử lý chất bán dẫn phức hợp, hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) và các ngành công nghiệp khác yêu cầu kiểm soát độ chính xác.

Hiệu suất tuyệt vời của Mâm cặp SiC Micropious

Lợi ích chính của Mâm cặp SiC Micropious là khả năng tích hợp hoàn toàn khả năng phân phối chân không bằng cách điều khiển ma trận vi xốp bên trong chính mâm cặp, trái ngược với việc sử dụng các rãnh và lỗ khoan như mâm cặp chân không truyền thống. Bằng cách sử dụng cấu trúc vi xốp, áp suất chân không được truyền đồng đều trên toàn bộ bề mặt của mâm cặp, mang lại sự ổn định và đồng đều cần thiết của lực giữ để giảm thiểu độ lệch, hư hỏng cạnh và tập trung ứng suất cục bộ, do đó giúp tránh các rủi ro liên quan đến tấm bán dẫn mỏng hơn và các nút quy trình tiên tiến.

Việc lựa chọnSiClàm vật liệu cho Đầu cặp SiC Micropious được tạo ra nhờ các đặc tính cơ học, nhiệt và hóa học đặc biệt của nó. Đầu cặp SiC Micropious cũng được thiết kế đặc biệt cứng và chống mài mòn để chúng có thể giữ được đồng xu

sự ổn định chuyên nghiệp ngay cả khi sử dụng liên tục. Chúng có hệ số giãn nở nhiệt rất thấp và độ dẫn nhiệt rất cao; do đó, chúng có thể hỗ trợ các nhiệm vụ liên quan đến sự thay đổi nhanh chóng về nhiệt độ và gia nhiệt cục bộ hoặc tiếp xúc với plasma trong khi vẫn duy trì độ phẳng và độ chính xác về vị trí của tấm bán dẫn trong suốt chu trình xử lý.

Tính ổn định hóa học là một lợi thế bổ sung của Đầu cặp SiC Micropious Semicorex. Một trong những ưu điểm chính của cacbua silic là khả năng chịu được sự tiếp xúc với các khí độc hại (bao gồm khí ăn mòn, axit và kiềm) thường tồn tại trong các hệ thống plasma mạnh được sử dụng để chế tạo chất bán dẫn. Độ trơ hóa học cao được cung cấp bởi Đầu cặp SiC Micropious Semicorex cho phép giảm thiểu sự xuống cấp bề mặt và tạo ra hạt khi tiếp xúc với các quy trình khác nhau, cho phép xử lý phòng sạch được tiến hành trong các giới hạn rất chặt chẽ về độ sạch và tăng năng suất cũng như tính nhất quán của quy trình.

Quy trình thiết kế và sản xuất của Semicorex tập trung vào việc đạt được mức độ chính xác và chất lượng cao nhất có thể khi tạo ra bất kỳ Chuck SiC vi xốp nào. Có thể đạt được độ phẳng, độ song song và độ nhám bề mặt hoàn chỉnh với Đầu cặp SiC Micropious và các rãnh thường tồn tại trên nhiều loại đầu cặp tiêu chuẩn khác không có trên bề mặt của Đầu cặp SiC Micropious, dẫn đến việc tích tụ các hạt ít hơn đáng kể và làm sạch và bảo trì dễ dàng hơn nhiều so với phần lớn các đầu cặp tiêu chuẩn. Điều này nâng cao độ tin cậy của Đầu cặp SiC Micropious dành cho tất cả các ứng dụng nhạy cảm với chất bẩn.

Ứng dụng rộng rãi

Đầu cặp SiC Micropious Semicorex được sản xuất với nhiều cấu hình có thể tùy chỉnh để phù hợp với nhiều loại công cụ xử lý và ứng dụng được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn. Một số cấu hình có sẵn bao gồm các loại đường kính, độ dày, mức độ xốp, giao diện chân không và kiểu lắp đặt khác nhau. Semicorex Microporous SiC Chuck cũng được thiết kế để hoạt động với hầu hết tất cả các vật liệu nền, bao gồm silicon, silicon cacbua, sapphire, gallium nitride (GaN) và thủy tinh. Do đó, Semicorex Microporous SiC Chuck có thể dễ dàng tích hợp vào các nền tảng xử lý và thiết bị OEM khác nhau đã được khách hàng sử dụng.

Đầu cặp SiC Microporous của Semicorex mang lại độ ổn định và khả năng dự đoán được cải thiện đáng kể trong quy trình sản xuất của bạn cũng như tăng thời gian hoạt động của thiết bị. Khả năng hấp phụ chân không nhất quán trên toàn bộ phôi đảm bảo sự liên kết thích hợp của tấm wafer trong tất cả các hoạt động quan trọng bao gồm in thạch bản, khắc, lắng đọng, đánh bóng và kiểm tra. Độ bền vượt trội và khả năng chống mài mòn của SiC vi xốp dẫn đến tỷ lệ thay thế thấp hơn và do đó giảm chi phí bảo trì phòng ngừa cũng như tổng chi phí trọn đời liên quan đến các thiết bị này.

Đầu cặp SiC Microporous của Semicorex trình bày một phương pháp hiệu suất cao, đáng tin cậy để xử lý các tấm bán dẫn thế hệ tiếp theo. Sự kết hợp giữa phân bố chân không đồng đều với độ ổn định nhiệt và hóa học vượt trội, tính toàn vẹn cơ học tuyệt vời và khả năng làm sạch vượt trội đã tạo ra các giải pháp đầu cặp chân không Semicorex tạo thành một phần không thể thiếu của quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến với tính nhất quán, tự tin và đáng tin cậy.