Phần LPE

Các bộ phận Semicorex LPE là các thành phần được phủ SIC hiệu suất cao được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong quy trình Epitaxy SIC. Các thành phần này được thiết kế để chịu được các điều kiện đòi hỏi của SIC tinh thể, cung cấp độ ổn định nhiệt vượt trội, kháng hóa chất và cường độ cơ học. Khi chọn các bộ phận LPE Semicorex, bạn được đảm bảo độ bền, độ chính xác và giải pháp phù hợp cho nhu cầu quy trình epitaxy SIC của bạn.

Các bộ phận Semicorex LPE được chế tạo với các vật liệu tiên tiến và các kỹ thuật sản xuất chính xác, đảm bảo tính nhất quán và độ tin cậy trong mỗi đơn vị. Các tính chất vật lý và hóa học của lớp phủ có các yêu cầu nghiêm ngặt đối với khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn, ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và tuổi thọ của sản phẩm. Vật liệu SIC có cường độ cao, độ cứng cao, hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ dẫn nhiệt tốt. Nó là một vật liệu cấu trúc nhiệt độ cao quan trọng và vật liệu bán dẫn nhiệt độ cao. Nó được áp dụng cho các cơ sở than chì. Ưu điểm của nó là:

1) SIC có khả năng chống ăn mòn và có thể bọc hoàn toàn cơ sở than chì, và có mật độ tốt để tránh thiệt hại do khí ăn mòn. 2) SIC có độ dẫn nhiệt cao và cường độ liên kết cao với đế than chì, đảm bảo rằng lớp phủ không dễ bị rơi sau khi trải qua nhiều chu kỳ nhiệt độ cao và nhiệt độ thấp. 3) SIC có sự ổn định hóa học tốt để tránh sự thất bại của lớp phủ trong bầu không khí nhiệt độ cao và ăn mòn. Ngoài ra, các lò nung epiticular của các vật liệu khác nhau yêu cầu khay than chì với các chỉ số hiệu suất khác nhau. Sự phù hợp của hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu than chì đòi hỏi phải thích ứng với nhiệt độ tăng trưởng của lò nung epitic. Ví dụ, nhiệt độ của epitaxy cacbua silicon cao và một khay có hệ số giãn nở nhiệt cao là cần thiết. Hệ số giãn nở nhiệt của SIC rất gần với than chì, làm cho nó phù hợp như vật liệu ưa thích cho lớp phủ bề mặt của đế than chì.

Các ứng dụng trong quy trình epitaxy sic

Quá trình epitaxy SIC là một bước quan trọng trong việc sản xuất các tấm sic chất lượng cao được sử dụng cho các thiết bị bán dẫn, bao gồm điện tử công suất và quang điện tử. Các bộ phận LPE, đặc biệt là những bộ phận có lớp phủ SIC, đóng một vai trò thiết yếu trong việc kiểm soát chính xác nhiệt độ và phản ứng hóa học trong lò phản ứng. Các thành phần này được đặt một cách chiến lược trong lò phản ứng để tạo điều kiện cho sự tăng trưởng wafer tối ưu trong khi vẫn duy trì độ tinh khiết và tính đồng nhất của các tinh thể SIC.

Tại Semicorex, chúng tôi hiểu rằng mọi quy trình epitaxy sic đều có các yêu cầu duy nhất. Đó là lý do tại sao các bộ phận LPE của chúng tôi có thể được tùy chỉnh đầy đủ để đáp ứng các nhu cầu cụ thể của hoạt động của bạn. Cho dù đó là kích thước, hình dạng hoặc độ dày lớp phủ, nhóm kỹ thuật của chúng tôi làm việc chặt chẽ với khách hàng để cung cấp các thành phần tối ưu hóa quy trình sản xuất của họ.

Lớp phủ SIC chất lượng cao áp dụng cho các bộ phận của chúng tôi cũng đảm bảo độ bền vượt trội. Không giống như các vật liệu thông thường, SIC cung cấp tuổi thọ dài hơn trong điều kiện vận hành khắc nghiệt, giảm tần suất bảo trì và thời gian chết. Tuổi thọ này chuyển sang chi phí hoạt động thấp hơn và tăng hiệu quả cho các nhà sản xuất chất bán dẫn.

Các bộ phận Semicorex LPE được thiết kế với độ chính xác và được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của quy trình Epitaxy SIC. Các thành phần của chúng tôi được sản xuất bằng công nghệ mới nhất, đảm bảo rằng chúng cung cấp hiệu suất và tuổi thọ chưa từng có. Bằng cách chọn semicorex, bạn đang chọn một đối tác hiểu được sự phức tạp của sản xuất chất bán dẫn và cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng cao đáng tin cậy, tăng cường khả năng sản xuất của bạn.

Các bộ phận lpe semicorex, vớiLớp phủ sic, là lựa chọn lý tưởng để tăng cường hiệu suất và tuổi thọ của các lò phản ứng epitaxy sic. Các thành phần này cung cấp độ ổn định nhiệt vượt trội, điện trở hóa học và cường độ cơ học, đảm bảo quá trình tăng trưởng tinh thể SIC của bạn chạy trơn tru và hiệu quả. Với các tùy chọn tùy chỉnh có sẵn, Semicorex cung cấp một giải pháp phù hợp để đáp ứng các yêu cầu quy trình cụ thể của bạn, khiến chúng tôi trở thành đối tác đáng tin cậy cho các nhà sản xuất chất bán dẫn trên toàn thế giới.