Plasma cảm ứng ghép nối (ICP)

Plasma cảm ứng ghép nối (ICP)

Chất nhạy được phủ cacbua silic của Semicorex dành cho Plasma cảm ứng (ICP) được thiết kế dành riêng cho các quy trình xử lý tấm wafer ở nhiệt độ cao như epitaxy và MOCVD. Với khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, ổn định lên đến 1600°C, các chất mang của chúng tôi đảm bảo biên dạng nhiệt đồng đều, mô hình dòng khí phân lớp và ngăn ngừa nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Cần một chất mang wafer có thể xử lý nhiệt độ cao, môi trường hóa chất khắc nghiệt? Không có lựa chọn nào khác ngoài chất nhạy cảm được phủ cacbua silic của Semicorex dành cho Plasma cảm ứng (ICP) . Chất mang của chúng tôi có lớp phủ tinh thể SiC mịn mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, đồng đều nhiệt và kháng hóa chất lâu bền.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về chất nhạy SiC của chúng tôi cho Plasma kết hợp cảm ứng (ICP).


Các thông số của chất nhạy cho Plasma cảm ứng (ICP)

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC

Thuộc tính SiC-CVD

Cấu trúc tinh thể

Giai đoạn FCC β

Tỉ trọng

g/cm ³

3.21

độ cứng

độ cứng Vickers

2500

Kích thước hạt

μm

2~10

độ tinh khiết hóa học

%

99.99995

Nhiệt dung

J·kg-1 ·K-1

640

Nhiệt độ thăng hoa

2700

Sức mạnh của Felexural

MPa (RT 4 điểm)

415

Mô đun Youngâs

Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)

430

Giãn nở nhiệt (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Dẫn nhiệt

(W/mK)

300


Các tính năng của chất nhạy phủ cacbua silic cho Plasma cảm ứng (ICP)

- Tránh bong tróc và đảm bảo sơn phủ trên mọi bề mặt

Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C

Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.

Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.

Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.

- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất

- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt

- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất





Thẻ nóng: Plasma cảm ứng ghép nối (ICP), Trung Quốc, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy, Tùy chỉnh, Số lượng lớn, Nâng cao, Bền bỉ

Danh mục liên quan

Gửi yêu cầu

Xin vui lòng gửi yêu cầu của bạn trong mẫu dưới đây. Chúng tôi sẽ trả lời bạn trong 24 giờ.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept