Thuyền cacbua silic ngang Semicorex là vật mang bán dẫn nằm ngang thiết yếu cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến, được sản xuất chính xác từ cacbua silic cấp bán dẫn cao cấp. Với khả năng sản xuất rộng rãi và đã được kiểm nghiệm theo thời gian, Semicorex có thể cung cấp cho các khách hàng nổi bật của chúng tôi các thuyền cacbua silic nằm ngang được thiết kế theo yêu cầu, có tính tương thích cao.
Semicorex ngangthuyền cacbua silicđược hình thành tích hợp bằng công nghệ in 3D và sau đó được chế tạo thông qua quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao. Được thiết kế nhằm mục đích phù hợp với nhiều kích thước lò nằm ngang nhiệt độ cao khác nhau, các thành phần này được ứng dụng rộng rãi để đảm bảo khả năng lưu giữ wafer một cách chắc chắn trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn nhiệt độ cao quan trọng, bao gồm khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng hơi hóa học.
| Của cải |
Thuyền silicon cacbua ngang Semicorex |
| Mật độ lớn |
3,05 g/cm³ |
| hạt |
3 mm |
| Sức mạnh uốn |
260 Mpa |
| cường độ nén |
500 Mpa |
| Hệ số giãn nở nhiệt (nhiệt độ phòng đến 1000oC) |
4,3*10-6 |
| độ tinh khiết |
5,38 trang/phút |
| Mô đun kéo |
354 Gpa |
| Độ dẫn nhiệt |
135 W/(m·K) |

Độ bền và độ cứng vật liệu vô song mang lại cho thuyền cacbua silic nằm ngang Semicorex khả năng hỗ trợ tuyệt vời, cho phép chúng mang nhiều tấm bán dẫn đồng thời một cách ổn định. Thông qua gia công rãnh chính xác, thuyền cacbua silic nằm ngang Semicorex có thể cố định và giữ chắc chắn các tấm bán dẫn. Cấu trúc khe cách đều nhau đảm bảo các tấm bán dẫn duy trì vị trí cố định trong toàn bộ chu trình xử lý, từ đó đảm bảo tính nhất quán và độ chính xác của quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Nhờ khả năng chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn vượt trội, thuyền cacbua silic nằm ngang Semicorex có khả năng chịu được các môi trường vận hành khắc nghiệt, chẳng hạn như môi trường có nhiệt độ cao chứa oxy, nitơ hoặc hydro clorua nồng độ thấp. Những đặc tính vật liệu đặc biệt này có thể ngăn chặn hiệu quả sự ăn mòn và hư hỏng do khí ăn mòn ở nhiệt độ cao gây ra, giúp kéo dài đáng kể tuổi thọ hoạt động của thuyền.
Khác với thuyền than chì phủ cacbua silic thông thường, thuyền cacbua silic ngang Semicorex được chế tạo từ cấp bán dẫn, độ tinh khiết caocacbua silic(99,999%) với hàm lượng tạp chất cực thấp. Lựa chọn vật liệu cao cấp này giúp loại bỏ nguy cơ thoát khí gây ô nhiễm hoặc bong tróc lớp phủ, ngay cả khi tiếp xúc với môi trường ăn mòn khắc nghiệt và nhiệt độ cao. Ngoài ra, mỗi thuyền cacbua silic của chúng tôi đều phải trải qua quy trình làm sạch siêu âm nghiêm ngặt trước khi đóng gói chân không, đảm bảo tuân thủ các tiêu chuẩn về độ sạch mà quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến yêu cầu.