Thuyền wafer thạch anh ngang

Thuyền wafer thạch anh nằm ngangthường giữ các tấm bán dẫn nằm ngang trong ống lò của thiết bị xử lý nhiệt, được làm nóng bằng các thiết bị gia nhiệt bên ngoài. Chúng được sử dụng rộng rãi trong các quy trình xử lý nhiệt bán dẫn ăn mòn ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như quá trình oxy hóa nhiệt, khuếch tán nhiệt độ cao, ủ và lắng đọng hơi hóa học (CVD).

Chức năng của thuyền wafer thạch anh ngang Semicorex

1. Giữ và bảo vệ ổn định

Các tấm wafer thạch anh ngang Semicorex có khả năng chịu tải tuyệt vời và có thể liên tục cung cấp sự hỗ trợ ổn định cho nhiều tấm bán dẫn. Và thiết kế bên ngoài được tối ưu hóa cũng như cấu trúc khe chính xác của chúng đảm bảo mỗibánh xốpđược lắp hoàn hảo và cố định chắc chắn trên các tấm wafer thạch anh nằm ngang, giúp giảm đáng kể các vết trầy xước và va chạm của tấm wafer do rung lắc, dịch chuyển và nghiêng trong quá trình vận chuyển và sản xuất.

2. Hỗ trợ thống nhất quy trình

Cấu trúc khe cách đều nhau của các tấm wafer thạch anh nằm ngang cho phép sắp xếp các tấm bán dẫn một cách có trật tự, từ đó tạo ra trường dòng khí ổn định và trơn tru trong lò nhiệt độ cao. Thiết kế cấu trúc đạt được tốc độ phản ứng và tiếp xúc khí nhất quán trên mỗi bề mặt wafer, từ đó giảm thiểu hiệu quả các khuyết tật khác nhau do gia nhiệt không đồng đều và tiếp xúc khí chênh lệch, chẳng hạn như quá trình oxy hóa wafer không hoàn toàn, lắng đọng màng mỏng không đồng đều và độ lệch nồng độ pha tạp.

3. Tuổi thọ lâu dài

Nhờ khả năng chịu nhiệt độ cao vượt trội của vật liệu thạch anh, thuyền wafer thạch anh ngang Semicorex có thể chịu được nhiệt độ cao 1100-1200oC trong thời gian dài mà không bị biến dạng hay nóng chảy.Thạch anhtrơ về mặt hóa học đối với các loại khí thường được sử dụng trong các quá trình bán dẫn, chẳng hạn như oxy, nitơ và hydro clorua. Tính trơ hóa học đặc biệt này có thể giảm thiểu nguy cơ ăn mòn từ khí xử lý, kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng và giảm thời gian cũng như chi phí thay thế thiết bị.