Thuyền SIC của buồng ngang

Thuyền SiS của buồng ngang Semicorex là một phần được thiết kế cao, giữ và mang theo các tấm wafer hoặc chất nền trong khi chúng phải chịu quá trình xử lý nhiệt nhiệt độ cao trong lò nung nằm ngang. Thuyền wafer được làm bằng SIC có độ tinh khiết cao Carbide silicon (sic), cung cấp sự kết hợp độc đáo của cường độ, độ ổn định nhiệt và khả năng kháng hóa chất cao được yêu cầu trong các quá trình gốm sứ bán dẫn, quang điện và gốm nâng cao. Thuyền Wafer cũng hoạt động như một cấu trúc cứng nhắc để giữ các tấm wafer ở vị trí, độ ổn định kích thước và độ chính xác của các tấm wafer sẽ không bị mất do tiếp xúc mở rộng với nhiệt độ quá trình cực đoan.

Các tính chất vượt trội của cacbua silicon cung cấp cho các thuyền sic lò nằm ngang một lợi thế hiệu suất vượt trội so với các vật liệu điển hình cho các thuyền wafer như thạch anh hoặc alumina. Họ có thể chịu được các chu kỳ làm mát và làm mát trong thời gian ngắn không thường xuyên không thường xuyên do điểm nóng chảy cao, điện trở sốc nhiệt và cường độ cơ học, bất kể tốc độ sưởi ấm và làm mát hoặc cực đoan của chu trình nhiệt. Do một lò ngang phụ thuộc hoàn toàn vào tính nhất quán của các vị trí của wafer và sự tiếp xúc của các điều kiện quá trình, sự liên kết thích hợp của các tấm wafer cung cấp cho năng suất quy trình nhất quán và độ lặp lại. Hệ số giãn nở nhiệt thấp có nghĩa là thuyền sẽ không biến dạng trong tuổi thọ của nó và cung cấp hình dạng và khoảng cách của các tấm wafer.

Cấu trúc hạt mịn, dày đặc của SIC kết tinh lại cung cấp khả năng kháng oxy hóa, ăn mòn và ô nhiễm đáng chú ý bởi các khí xử lý và các sản phẩm phụ. Điều này làm cho chiếc thuyền đặc biệt thuận lợi cho các quá trình trong khí quyển tích cực như khuếch tán, oxy hóa, LPCVD và ủ. Sự trơ hóa hóa học cao của SIC tránh các phản ứng với các bề mặt wafer, do đó bảo tồn độ tinh khiết của sản phẩm và giảm thiểu việc tạo hạt trong lò. Thuyền SIC có thể giúp các nhà sản xuất cần đáp ứng nhu cầu sạch sẽ nghiêm ngặt, cung cấp môi trường xử lý sạch hơn và cải thiện chất lượng wafer.

Những chiếc thuyền này có thể được sản xuất với các hình học phức tạp khác nhau và kích thước một phần với các kỹ thuật gia công và hình thành chính xác. Các thiết kế thường sử dụng nhiều khe/rãnh song song để giữ các tấm wafer an toàn theo hướng ngang và hiển thị đồng đều toàn bộ bề mặt wafer với điều kiện nhiệt. Khoảng cách và góc của khe cắm cũng có thể được tối ưu hóa để phù hợp với các tấm wafer có đường kính khác, chẳng hạn như 150 mm, 200 mm hoặc 300 mm và luồng không khí trực tiếp trong quá trình xử lý trong khi vẫn đạt được độ đồng nhất nhiệt độ để xử lý.

Không chỉ có thể thiết kế các thuyền sic lò theo chiều ngang, mà chúng có thể được thiết kế để hoạt động với các bộ tải wafer tự động, dẫn đến tích hợp liền mạch vào các dây chuyền sản xuất thông lượng cao hiện đại. Thiết kế mạnh mẽ cũng sẽ làm cho những chiếc thuyền ít có khả năng cắt hoặc phá vỡ trong quá trình xử lý và giảm thời gian chết và chi phí cho việc thay thế.

Độ dẫn nhiệt củaCarbide siliconĐại diện cho một lợi thế quan trọng khác tạo điều kiện truyền nhiệt hiệu quả giữa các tấm wafer và môi trường lò. Ưu điểm là các nhà sản xuất có thể đạt được các điều kiện xử lý đồng đều hơn và rút ngắn thời gian chu kỳ, có thể làm tăng hiệu quả sản xuất. Các thuyền SIC cung cấp kết quả nhất quán và có thể lặp lại cho dù chúng được sử dụng để chế tạo wafer bán dẫn, sản xuất pin mặt trời hoặc xử lý vật liệu tiên tiến khác ở nhiệt độ cao.

Tóm lại, các thuyền sic lò nằm ngang là một thành phần chính cho các nhà sản xuất muốn sản xuất các tấm wafer có hiệu suất cao, lâu dài và chống nhiễm bẩn. Nó có độ bền cơ học, độ ổn định nhiệt và trơ hóa hóa học không bằng nhau trong các ứng dụng lò ngang. Bằng cách chọn thuyền cacbua silicon, các nhà khai thác có thể tận dụng kiểm soát quá trình tốt hơn, năng suất cao hơn và giảm thiểu gián đoạn hoạt động do bảo trì. Nhìn chung, nó cung cấp cho các sản phẩm hiệu quả, hiệu quả hơn.