Vòng nạp khí cho thiết bị bán dẫn

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn của Silicon carbide Coated Graphite Susceptor tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Vòng nạp khí cho thiết bị bán dẫn của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường châu Âu và châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Vòng nạp khí Semicorex cho thiết bị bán dẫn được phủ SiC, là lớp phủ silicon carbide (SiC) dày đặc, chống mài mòn. Nó có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao cũng như tính dẫn nhiệt tuyệt vời. Chúng tôi phủ SiC thành các lớp mỏng lên than chì bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD).

Vòng nạp khí cho thiết bị bán dẫn của chúng tôi được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí theo lớp tốt nhất, đảm bảo sự đồng đều của biên dạng nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Vòng nạp khí cho thiết bị bán dẫn của chúng tôi.

Các thông số của vòng khí đầu vào cho thiết bị bán dẫn

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300