Vòng lấy nét bền bỉ để xử lý chất bán dẫn

Vòng lấy nét bền bỉ của Semicorex dành cho xử lý chất bán dẫn được thiết kế để chịu được môi trường khắc nghiệt của buồng ăn mòn plasma được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn. Vòng lấy nét của chúng tôi được làm bằng than chì có độ tinh khiết cao được phủ một lớp phủ silicon cacbua (SiC) dày đặc, chống mài mòn. Lớp phủ SiC có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao cũng như tính dẫn nhiệt tuyệt vời. Chúng tôi phủ SiC thành từng lớp mỏng lên than chì bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để cải thiện tuổi thọ của vòng lấy nét.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Các vòng lấy nét bền bỉ của chúng tôi dành cho quá trình xử lý chất bán dẫn được thiết kế để cải thiện tính đồng nhất của chất ăn mòn xung quanh mép hoặc chu vi của tấm bán dẫn, giảm thiểu ô nhiễm và bảo trì đột xuất. Chúng có độ ổn định cao để ủ nhiệt nhanh (RTA), xử lý nhiệt nhanh (RTP) và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.

Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các vòng lấy nét bền bỉ, chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho xử lý chất bán dẫn, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về vòng lấy nét bền bỉ dành cho xử lý chất bán dẫn của chúng tôi.

Các thông số của vòng lấy nét bền để xử lý chất bán dẫn

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300