Vòng lấy nét bền cho xử lý chất bán dẫn

Các vòng lấy nét bền Semicorex dành cho xử lý chất bán dẫn được thiết kế để chịu được môi trường khắc nghiệt của buồng ăn mòn plasma được sử dụng trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Các vòng lấy nét của chúng tôi được làm bằng than chì có độ tinh khiết cao được phủ một lớp phủ silicon carbide (SiC) dày đặc, chống mài mòn. Lớp phủ SiC có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao, cũng như khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời. Chúng tôi phủ SiC thành các lớp mỏng lên than chì bằng cách sử dụng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để cải thiện tuổi thọ sử dụng của các vòng tiêu điểm của chúng tôi.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Các vòng lấy nét bền dành cho xử lý chất bán dẫn của chúng tôi được thiết kế để cải thiện tính đồng nhất của quá trình ăn mòn xung quanh mép hoặc chu vi của tấm wafer, giảm thiểu nhiễm bẩn và bảo trì đột xuất. Chúng có độ ổn định cao đối với quá trình ủ nhiệt nhanh (RTA), xử lý nhiệt nhanh (RTP) và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt.

Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các vòng lấy nét bền, chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho quá trình xử lý chất bán dẫn, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về các vòng lấy nét bền dành cho xử lý chất bán dẫn.

Các thông số của Vòng lấy nét bền cho xử lý chất bán dẫn

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC Î²
Tỉ trọng	g/cm ³	3.21
độ cứng	độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	Î¼m	2~10
độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Nhiệt dung	J·kg-1 ·K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh của Felexural	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun Youngâs	Gpa (uốn cong 4pt, 1300â)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Dẫn nhiệt	(W/mK)	300