Ống lò khuếch tán

Ống lò khuếch tán thường được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao hoặc SiC, cả hai đều có độ ổn định nhiệt đặc biệt và khả năng chống lại các phản ứng hóa học. Điều này rất quan trọng vì ống lò khuếch tán không được đưa tạp chất vào vật liệu bán dẫn đang được xử lý. Ngay cả những tạp chất nhỏ nhất cũng có thể có tác động bất lợi đáng kể đến hiệu suất và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn được chế tạo.

Các vật liệu được sử dụng để chế tạo ống lò khuếch tán được chọn vì độ tinh khiết cao để ngăn ngừa ô nhiễm các tấm bán dẫn trong quá trình xử lý. Ống lò khuếch tán chịu được nhiệt độ khắc nghiệt gặp phải trong quá trình xử lý chất bán dẫn mà không bị biến dạng hoặc ảnh hưởng đến tính toàn vẹn cấu trúc của nó. Điều này đảm bảo hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian hoạt động kéo dài. Ngoài khả năng ổn định nhiệt, ống lò khuếch tán còn thể hiện khả năng chống lại tác động ăn mòn của hóa chất và khí được sử dụng trong xử lý chất bán dẫn. Điều này ngăn ngừa sự xuống cấp của ống theo thời gian và đảm bảo tuổi thọ.

Một số ống lò khuếch tán có thể có lớp lót được làm từ vật liệu chuyên dụng để nâng cao hơn nữa hiệu suất của chúng hoặc cung cấp sự bảo vệ bổ sung chống lại sự nhiễm bẩn hoặc phản ứng hóa học. Những lớp lót này được lựa chọn cẩn thận để bổ sung các đặc tính của vật liệu ống và các yêu cầu cụ thể của quy trình chế tạo chất bán dẫn.