Lò chân không CVD và CVI

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp các sản phẩm phủ silicon carbide quy mô lớn tại Trung Quốc. Chúng tôi cung cấp các giải pháp lò tùy chỉnh. Lò chân không CVD và CVI của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Lò chân không Semicorex CVD và CVI là một công cụ chất lượng cao được thiết kế cho các quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Nhiệt độ phản ứng lên tới 2200°C. Nó có khả năng lắng đọng nhiều loại vật liệu, bao gồm silicon carbide, boron nitride, graphene, v.v. Lò CVD có thiết kế chắc chắn và được làm bằng vật liệu chất lượng cao, đảm bảo độ tin cậy và độ bền khi sử dụng lâu dài. Nó có cả cấu trúc ngang và dọc.

Ứng dụng:Đĩa phanh tổng hợp C / C, nồi nấu kim loại, khuôn, v.v.

Các tính năng của lò chân không Semicorex CVD và CVI

1. Thiết kế chắc chắn làm bằng vật liệu chất lượng cao để sử dụng lâu dài;

2. Cung cấp khí được kiểm soát chính xác thông qua việc sử dụng bộ điều khiển lưu lượng lớn và van chất lượng cao;

3. Được trang bị các tính năng an toàn như bảo vệ quá nhiệt và phát hiện rò rỉ khí gas để vận hành an toàn và đáng tin cậy;

4. Sử dụng nhiều vùng kiểm soát nhiệt độ, độ đồng đều nhiệt độ cao;

5. Buồng lắng đọng được thiết kế đặc biệt với hiệu quả bịt kín tốt và khả năng chống nhiễm bẩn tuyệt vời;

6. Sử dụng nhiều kênh lắng đọng với lưu lượng khí đồng đều, không có góc chết lắng đọng và bề mặt lắng đọng hoàn hảo;

7. Nó đã xử lý hắc ín, bụi rắn và khí hữu cơ trong quá trình lắng đọng

Tính năng tùy chọn:

â¢Cửa lò: kiểu nâng hạ bằng vít/thủy lực/thủ công; kiểu mở xoay/mở song song (kích thước lớn

cửa lò); siết chặt thủ công/vòng khóa tự động siết chặt

• Thân lò: toàn bộ bằng thép cacbon/thép không gỉ lớp bên trong/toàn bộ bằng thép không gỉ

â¢Vùng nóng của lò: nỉ carbon mềm/nỉ than chì mềm/nỉ tổng hợp cứng/CFC

â¢Bộ phận làm nóng và muffle: than chì ép đẳng tĩnh/than chì có độ tinh khiết cao, cường độ và mật độ/than chì kích thước nhỏ

¢ Hệ thống xử lý khí: đồng hồ đo thể tích/khối lượng

• Cặp nhiệt điện: Loại K/Loại N/Loại C/Loại S

Thông số kỹ thuật của lò CVD
Người mẫu	Kích thước vùng làm việc (Rộng × Cao × Dài) mm	tối đa. Nhiệt độ (°C)	Nhiệt độ Độ đồng nhất (°C)	Độ chân không tối đa (Pa)	Tốc độ tăng áp suất (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	Ï300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	Ï600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	Ï800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	Ï1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	Ï2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Các thông số trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quy trình, chúng không phải là tiêu chuẩn chấp nhận, thông số kỹ thuật chi tiết. sẽ được nêu trong đề xuất kỹ thuật và các thỏa thuận.