Lò lắng đọng hơi hóa chất CVD

Lò lắng đọng hơi hóa chất Semicorex CVD làm cho việc sản xuất epitaxy chất lượng cao hiệu quả hơn. Chúng tôi cung cấp các giải pháp lò tùy chỉnh. Lò lắng đọng hơi hóa chất CVD của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Lò lắng đọng hơi hóa chất Semicorex CVD được thiết kế cho CVD và CVI, được sử dụng để lắng đọng vật liệu lên bề mặt. Nhiệt độ phản ứng lên tới 2200°C. Điều khiển lưu lượng lớn và van điều biến phối hợp các chất phản ứng và khí mang như N, H, Ar, CO2, metan, silicon tetrachloride, methyl trichlorosilane và amoniac. Các vật liệu lắng đọng bao gồm cacbua silic, cacbon nhiệt phân, boron nitrit, kẽm selenua và kẽm sunfua. Lò lắng đọng hơi hóa chất CVD có cả cấu trúc ngang và dọc.

Ứng dụng:Lớp phủ SiC cho vật liệu composite C/C, lớp phủ SiC cho than chì, lớp phủ SiC, BN và ZrC cho sợi, v.v.

Các tính năng của lò lắng đọng hơi hóa chất Semicorex CVD

1. Thiết kế chắc chắn làm bằng vật liệu chất lượng cao để sử dụng lâu dài;

2. Cung cấp khí được kiểm soát chính xác thông qua việc sử dụng bộ điều khiển lưu lượng lớn và van chất lượng cao;

3. Được trang bị các tính năng an toàn như bảo vệ quá nhiệt và phát hiện rò rỉ khí gas để vận hành an toàn và đáng tin cậy;

4. Sử dụng nhiều vùng kiểm soát nhiệt độ, độ đồng đều nhiệt độ cao;

5. Buồng lắng đọng được thiết kế đặc biệt với hiệu quả bịt kín tốt và khả năng chống nhiễm bẩn tuyệt vời;

6. Sử dụng nhiều kênh lắng đọng với lưu lượng khí đồng đều, không có góc chết lắng đọng và bề mặt lắng đọng hoàn hảo;

7. Nó đã xử lý hắc ín, bụi rắn và khí hữu cơ trong quá trình lắng đọng

Thông số kỹ thuật của lò CVD
Người mẫu	Kích thước vùng làm việc (Rộng × Cao × Dài) mm	tối đa. Nhiệt độ (°C)	Nhiệt độ Độ đồng nhất (°C)	Độ chân không tối đa (Pa)	Tốc độ tăng áp suất (Pa/h)
LFH-6900-SiC	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-SiC	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-SiC	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-SiC	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-SiC	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-SiC	Ï300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-SiC	Ï600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-SiC	Ï800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-SiC	Ï1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-SiC	Ï2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Các thông số trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quy trình, chúng không phải là tiêu chuẩn chấp nhận, thông số kỹ thuật chi tiết. sẽ được nêu trong đề xuất kỹ thuật và các thỏa thuận.