Semicorex cung cấp thuyền bán dẫn, bệ và giá đỡ bán bán dẫn tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon cacbua trong nhiều năm. Thuyền wafer gốm của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Giới thiệu Thuyền wafer gốm silicon cacbua chất lượng cao của chúng tôi, được thiết kế để cung cấp giải pháp đáng tin cậy để xử lý wafer trong các ngành công nghiệp khác nhau. Những bệ gốm này được sản xuất bằng gốm có độ tinh khiết cao, có khả năng chống sốc nhiệt, mài mòn và ăn mòn hóa học tuyệt vời, khiến chúng trở nên lý tưởng cho môi trường xử lý wafer khắc nghiệt.
Thuyền wafer gốm của chúng tôi cũng có tính tùy chỉnh cao và chúng tôi có thể làm việc với bạn để tạo ra các bệ tùy chỉnh nhằm đáp ứng các thông số kỹ thuật độc đáo của bạn. Chúng tôi tự hào về khả năng cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, đáng tin cậy, đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Thuyền wafer gốm của chúng tôi được chế tạo để tồn tại lâu dài và có thời gian sử dụng lâu dài, đảm bảo rằng bạn nhận được giá trị cao nhất từ khoản đầu tư của mình.
Đặt hàng ngay bây giờ và trải nghiệm những lợi ích của Thuyền wafer gốm chất lượng cao của chúng tôi trong hoạt động xử lý wafer của bạn.
Thông số của thuyền wafer gốm
Đặc tính kỹ thuật |
||||
chỉ mục |
Đơn vị |
Giá trị |
||
Tên vật liệu |
Cacbua silic thiêu kết phản ứng |
Cacbua silic thiêu kết không áp lực |
Cacbua silic kết tinh lại |
|
Thành phần |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Mật độ lớn |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Độ bền uốn |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
cường độ nén |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
độ cứng |
Cái nút |
2700 |
2800 |
/ |
Độ bền phá vỡ |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Độ dẫn nhiệt |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hệ số giãn nở nhiệt |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Nhiệt dung riêng |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Nhiệt độ tối đa trong không khí |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Mô đun đàn hồi |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:
1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.
2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.
3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC
Đặc điểm của thuyền wafer gốm
Được làm bằng gốm alumina có độ tinh khiết cao cho khả năng chống sốc nhiệt, mài mòn và ăn mòn hóa học tuyệt vời
Được thiết kế để hỗ trợ và ổn định tối ưu trong quá trình xử lý wafer, giảm thiểu nguy cơ hư hỏng hoặc nhiễm bẩn
Có sẵn trong một loạt các kích cỡ để phù hợp với đường kính và độ dày wafer khác nhau
Có thể tùy chỉnh để đáp ứng các thông số kỹ thuật độc đáo
Được thiết kế để tồn tại lâu dài và mang lại tuổi thọ sử dụng lâu dài