Vòng lấy nét bằng gốm cho chất bán dẫn

gốm sứ Semicorexvòng tập trungdành cho chất bán dẫn là giải pháp lý tưởng được thiết kế riêng cho các điều kiện vận hành khắc plasma khắc nghiệt. Trong quá trình ăn mòn chất bán dẫn phức tạp, điều quan trọng là phải kiểm soát chính xác sự phân bố plasma, điều này có thể đảm bảo độ ổn định của buồng ăn mòn và tính đồng nhất của quá trình ăn mòn chất bán dẫn nhất quán. Là thành phần không thể thiếu được sử dụng trong thiết bị khắc tiên tiến, các vòng lấy nét thường được định vị xung quanh các tấm bán dẫn và tiếp xúc trực tiếp với chúng. Hiệu suất của vòng lấy nét tác động trực tiếp đến độ lặp lại của quy trình, năng suất sản phẩm và thời gian hoạt động của thiết bị.

Ưu điểm của vòng lấy nét gốm Semicorex dành cho chất bán dẫn

1. Độ tinh khiết vật liệu cực cao

Sự trong sạch của chúng taCVD SiCvật liệu vượt quá 99,9995%. Điều này có thể ngăn chặn hiệu quả sự ô nhiễm của buồng ăn mòn và các tấm bán dẫn do vật liệu không đủ độ tinh khiết.

2. Chống ăn mòn đặc biệt

Vòng lấy nét gốm Semicorex dành cho chất bán dẫn được làm từ CVD SiC, có khả năng chống oxy hóa, xói mòn và ăn mòn hóa học tuyệt vời, đặc biệt hiệu quả đối với các loại khí xử lý như HF và HCI, cũng như khí plasma.

3. Hiệu suất kháng cao

Độ đồng đều điện trở của vòng hội tụ gốm Semicorex dành cho chất bán dẫn nhỏ hơn 5%.

Phạm vi điện trở suất: Độ phân giải thấp. (<0,02 Ω·cm), Độ phân giải trung bình. (0,2–25 Ω·cm), Độ phân giải cao. (>100 Ω·cm).

Chức năng của vòng lấy nét gốm Semicorex dành cho chất bán dẫn

1.Kiểm soát và thống nhất điện trường biên và phân bố plasma

Vòng lấy nét gốm Semicorex dành cho chất bán dẫn có thể kiểm soát sự phân bố điện trường bên trong buồng ăn mòn và đạt được vỏ bọc plasma đồng đều hơn xung quanh các tấm bán dẫn, cho phép plasma tiếp xúc với bề mặt tấm bán dẫn theo chiều dọc và đồng đều. Bằng cách này, hiệu ứng khắc có thể giảm đáng kể và độ chính xác khắc có thể được cải thiện đáng kể.

2. Bảo vệ mâm cặp tĩnh điện

Nếu không có sự bảo vệ của các vòng lấy nét trong quá trình ăn mòn, mâm cặp tĩnh điện sẽ phải hứng chịu sự bắn phá và ăn mòn của plasma năng lượng cao. Mâm cặp tĩnh điện được làm bằng vật liệu có giá thành cao với chi phí thay thế cực cao. Việc sử dụng vòng lấy nét có thể làm giảm sự ăn mòn plasma trên mâm cặp tĩnh điện một cách hiệu quả và giảm thiểu chi phí bảo trì và thay thế mâm cặp tĩnh điện.