Mái chèo gốm SiC

Mái chèo gốm Semicorex SiC là một bộ phận tiên tiến được phát triển cho các ứng dụng lò bán dẫn nhiệt độ cao như oxy hóa và khuếch tán. Mái chèo đóng vai trò như một giá đỡ đúc hẫng để giữ và di chuyển các tấm bán dẫn ở nhiệt độ cao. Mái chèo gốm Semicorex SiC cung cấp các thành phần gốm có độ tinh khiết cao, độ bền cao cho các quy trình nhiệt độ cao đòi hỏi độ tin cậy, độ ổn định và hiệu suất cao trong suốt quy trình sản xuất.

Các mái chèo được sản xuất từ ​​​​độ tinh khiết caocacbua silic (SiC), được chế tạo đặc biệt để chịu được môi trường nhiệt và hóa học khắc nghiệt của quy trình sản xuất chất bán dẫn. Khi các tấm bán dẫn được xử lý thông qua quá trình oxy hóa và khuếch tán, tấm bán dẫn tiếp xúc với nhiệt độ lớn hơn 1000 độ C, cũng như các loại khí phản ứng như oxy, hơi nước hoặc khí quyển tạp chất. Ở nhiệt độ này, tính toàn vẹn của cấu trúc sẽ phụ thuộc vào độ tinh khiết của vật liệu.

Một đặc tính quan trọng khác của cánh gốm SiC là hiệu suất tuyệt vời ở nhiệt độ cao. Do điểm nóng chảy của SiC là 2700+C nên các cánh khuấy vẫn giữ được độ bền và độ ổn định cơ học khi tiếp xúc với nhiệt độ cao.

tính chất theo thời gian. Đặc tính nhiệt hạn chế cong vênh và nứt vật liệu trong các chu kỳ gia nhiệt và làm mát lặp đi lặp lại, đồng thời mang lại tuổi thọ lâu dài trong môi trường sản xuất.

Quá trình xử lý chất bán dẫn đòi hỏi một môi trường cực kỳ sạch sẽ vì ngay cả một lượng nhỏ tạp chất cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu suất và hoạt động của thiết bị. Vật liệu SiC được sử dụng trong cánh khuấy có lớp phủ SiC lắng đọng hơi hóa học (CVD) giúp nâng cao độ tinh khiết của vật liệu đặc biệt đồng thời giảm thiểu ô nhiễm kim loại. Mái chèo gốm SiC luôn sạch sẽ và ổn định trong suốt thời gian sử dụng. Là giá đỡ côngxon, các mái chèo cần cung cấp sự hỗ trợ an toàn cho các tàu chở wafer hoặc thuyền trong quá trình lắp và lấy ra khỏi lò. Bởi vìSiCVới sức mạnh và độ cứng vốn có của chúng, chúng có đặc tính chịu tải tốt với độ lệch tối thiểu, điều này rất cần thiết để xử lý và căn chỉnh tấm bán dẫn thích hợp. Trong các lò oxy hóa và khuếch tán, môi trường ăn mòn có thể tấn công và phân hủy các vật liệu truyền thống theo thời gian, nhưng SiC có khả năng duy trì sự ổn định hóa học, kéo dài tuổi thọ sử dụng của cánh khuấy. Điều này giúp giảm đáng kể chi phí bảo trì và thay thế vì các cánh khuấy gần như không cần phải thay thế hoặc sửa chữa thường xuyên.

Ngoài hiệu suất, còn có sự linh hoạt trong việc tùy chỉnh mái chèo cho các thiết bị và quy trình cụ thể. Kích thước, dung sai và độ hoàn thiện bề mặt có thể được thực hiện linh hoạt để đảm bảo sự phù hợp giữa các thiết kế lò và bất kỳ hệ thống xử lý wafer nào khác. Khả năng đạt được độ chính xác cao về kích thước bằng cách gia công gốm chính xác cũng sẽ cho phép sản xuất các cánh khuấy để đáp ứng các hình dạng phức tạp. Toàn bộ phạm vi tính năng này nhằm mục đích mang lại khả năng vận hành liền mạch và tích hợp dễ dàng vào các dây chuyền sản xuất hiện có.

gốm SiCmái chèo, với sự kết hợp giữa độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt, độ bền cơ học và khả năng kháng hóa chất, là những vật liệu thiết yếu trong quá trình oxy hóa và khuếch tán chất bán dẫn. Bằng cách cung cấp một nền tảng ổn định, sạch sẽ để chuyển wafer, chúng góp phần trực tiếp vào việc cải thiện năng suất, tính nhất quán của quy trình và hiệu quả sản xuất tổng thể.