hàng loạt wafer thuyền

Semicorex cung cấp thuyền wafer, bệ đỡ và giá đỡ wafer tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon carbide trong nhiều năm. Batch wafer Boat của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Semicorex Batch Wafer Boat được làm từ vật liệu gốm silicon carbide chất lượng cao cho khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt vượt trội.
Batch wafer Boat của chúng tôi có bề mặt hoàn thiện nhẵn và cung cấp hỗ trợ và bảo vệ wafer tuyệt vời trong quá trình xử lý. Lớp phủ SiC đảm bảo tính đồng nhất và ổn định trong quá trình xử lý, bảo vệ các tấm wafer khỏi bị nhiễm bẩn và hư hỏng. Với khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời và độ bền cơ học vượt trội, giá đỡ tấm wafer của chúng tôi mang lại kết quả nhất quán và đáng tin cậy.
Đội ngũ chuyên gia của chúng tôi cam kết cung cấp chất lượng và dịch vụ tốt nhất. Chúng tôi cung cấp các thiết kế tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của bạn và các thuyền wafer hàng loạt của chúng tôi được hỗ trợ bởi chương trình đảm bảo chất lượng của chúng tôi.

Các thông số của Batch wafer Boat

Thuộc tính kỹ thuật
Mục lục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Phản ứng thiêu kết cacbua silic	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Knoop	2700	2800	/
Phá vỡ độ bền	MPa m1/2	4.5	4	/
Dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	điểm trung bình	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để thấm Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do co rút tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt nghiêm ngặt hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau dưới PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của thuyền wafer hàng loạt

- Độ bền cao (độ cứng Mohs 9.5, chỉ đứng sau kim cương)
- Chống ăn mòn axit, kiềm, muối và dung môi hữu cơ
- Dẫn nhiệt cao, kháng plasma, tuổi thọ cao
- Chất bán dẫn