Thuyền bánh xốp

Semicorex cung cấp thuyền bán dẫn, bệ và giá đỡ bán bán dẫn tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon cacbua trong nhiều năm. Batch Wafer Boat của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thuyền wafer Semicorex Batch được làm từ vật liệu gốm cacbua silic chất lượng cao cho khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt vượt trội.
Batch wafer Boat của chúng tôi có bề mặt mịn và cung cấp khả năng hỗ trợ và bảo vệ wafer tuyệt vời trong quá trình xử lý. Lớp phủ SiC đảm bảo tính đồng nhất và ổn định trong quá trình xử lý, bảo vệ các tấm bán dẫn khỏi bị nhiễm bẩn và hư hỏng. Với độ dẫn nhiệt tuyệt vời và độ bền cơ học vượt trội, giá đỡ wafer của chúng tôi mang lại kết quả nhất quán và đáng tin cậy.
Đội ngũ chuyên gia của chúng tôi cam kết mang lại chất lượng và dịch vụ tốt nhất. Chúng tôi cung cấp các thiết kế tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của bạn và thuyền wafer hàng loạt của chúng tôi được hỗ trợ bởi chương trình đảm bảo chất lượng của chúng tôi.

Các thông số của thuyền wafer hàng loạt

Đặc tính kỹ thuật
chỉ mục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Cacbua silic thiêu kết phản ứng	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
Mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Cái nút	2700	2800	/
Độ bền phá vỡ	MPa m1/2	4.5	4	/
Độ dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	Gpa	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Đặc điểm của thuyền wafer hàng loạt

- Độ bền cao (độ cứng Mohs 9,5, chỉ đứng sau kim cương)
- Chống ăn mòn với axit, kiềm, muối và dung môi hữu cơ
- Độ dẫn nhiệt cao, kháng plasma, tuổi thọ cao
- Chất bán dẫn