Vòng waferholder 8 inch

Các vòng waferholder bán 8 inch Semicorex là phần cứng xử lý chất bán dẫn tiên tiến nhằm mục đích bảo mật và hỗ trợ các tấm silicon một cách an toàn thông qua các quá trình khắc nhiệt, khắc và lắng đọng quan trọng. Được xây dựng từ than chì chất lượng cao với một vật chất dày đặcLớp phủ silicon cacbua (sic)Để tăng cường sức mạnh, vòng giữ wafer mang lại độ ổn định nhiệt vượt trội, sức cản hóa học và cường độ cơ học, khiến nó lý tưởng để sử dụng trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn như CVD (lắng đọng hơi hóa học), PECVD và các hệ thống epitaxy.

Các tính năng chính:

Thành phần vật chất:

Vật liệu cơ chất làThan than tinh khiết cao, được chọn cho độ dẫn nhiệt cao và tính đồng nhất cấu trúc. Mật độ cao và đồng nhấtLớp phủ phim silicon cacbua (sic)được áp dụng trên bề mặt, thể hiện khả năng chống oxy hóa và tấn công hóa học cao ngay cả ở nhiệt độ cao vượt quá 1000 ° C. Hỗn hợp chứa thời hạn sử dụng trong thời gian dài và nguy cơ ô nhiễm tối thiểu của các tấm wafer.

Định vị wafer an toàn

Được thiết kế đặc biệt để chứa các tấm wafer 8 inch (200 mm), vòng waferholder giữ dung sai chính xác và hình học bên trong được thiết kế tối ưu để nắm chặt wafer. Vòng vẫn ổn định ở vị trí trong quá trình đạp xe nhiệt và lưu lượng khí, giảm thiểu chuyển động vi mô có thể dẫn đến việc tạo hạt hoặc vỡ wafer.

Tính đồng nhất nhiệt:

Độ dẫn nhiệt vốn có của chất nền than chì và độ ổn định của lớp phủ SIC đảm bảo truyền nhiệt phù hợp trên bề mặt wafer. Điều này dẫn đến kết quả quá trình phù hợp, giảm căng thẳng nhiệt và năng suất thiết bị tốt hơn.

Kháng hóa chất & huyết tương:

Bề mặt SIC bảo vệ lõi than chì khỏi các plasmas và khí quá trình khắc nghiệt, cung cấp khả năng chống lại các chu kỳ quá trình lặp đi lặp lại. Hòa nhập hóa học đặc biệt có lợi trong môi trường Etchant hoặc khí phản ứng có chứa halogen ăn mòn.

Tùy chỉnh có sẵn:

Vòng waferholder 8 inch có thể được thiết kế tùy chỉnh để đáp ứng các thiết bị hoặc yêu cầu quy trình cụ thể, tức là, các biến thể trong thiết kế hỗ trợ cạnh, vị trí của các khe cắm và cấu hình lắp. Các nhà thiết kế của chúng tôi làm việc với các OEM và FAB để cung cấp hiệu suất cao nhất có thể cho mỗi lần sử dụng.

Ứng dụng:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Quá trình tăng trưởng epiticular
• Lò khuếch tán
• Ủ nhiệt độ cao
• Các hệ thống xử lý nhiệt bán dẫn khác

Mỗi vòng waferholder 8 inch trải qua kiểm tra nghiêm ngặt như xác minh độ chính xác kích thước, kiểm tra độ bám dính và trình độ đạp xe nhiệt. Công nghệ sản xuất tiên tiến của chúng tôi đảm bảo độ dày lớp phủ SIC thống nhất và hoàn thiện bề mặt tốt nhất để đáp ứng nhu cầu cao của ngành bán dẫn.

Vòng waferholder bán 8 inch (Graphite được phủ SIC) là một thiết bị thiết yếu để sản xuất chất bán dẫn thế hệ tiếp theo, cung cấp độ chính xác cơ học, độ bền vật liệu và độ ổn định hóa học. Từ việc nâng cấp thiết bị quy trình đến việc xây dựng các nền tảng wafer thế hệ tiếp theo, sản phẩm này cung cấp độ tin cậy và hiệu suất cần thiết để cho phép môi trường sản xuất đòi hỏi yêu cầu ngày nay.