Người chấp nhận wafer

Chất cảm biến wafer Semicorex được chế tạo một cách chuyên nghiệp từ than chì và phủ silicon cacbua (SiC) để đáp ứng các điều kiện khắt khe của sản xuất chất bán dẫn hiện đại.

Trong quy trình epitaxy, việc duy trì môi trường ổn định và được kiểm soát là vô cùng cần thiết. Bộ cảm biến wafer đóng vai trò là nền tảng nền tảng để đặt các tấm wafer trong quá trình lắng đọng, đáp ứng các yêu cầu chính xác về độ đồng đều nhiệt độ, độ trơ hóa học và độ bền cơ học để đạt được các lớp epiticular chất lượng cao.

Việc lựa chọn than chì làm vật liệu cơ bản cho Bộ cảm biến bán dẫn được thúc đẩy bởi tính dẫn nhiệt và tính chất cơ học tuyệt vời của nó. Khả năng chịu được nhiệt độ cao của than chì trong khi vẫn duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc là rất quan trọng trong môi trường nhiệt độ cao của lò phản ứng epitaxy. Ngoài ra, tính dẫn nhiệt của than chì đảm bảo phân phối nhiệt hiệu quả trên tấm bán dẫn, giảm nguy cơ chênh lệch nhiệt độ có thể dẫn đến khuyết tật ở lớp epitaxy.

Để nâng cao hiệu suất của Bộ cảm biến wafer, một lớp phủ silicon cacbua (SiC) được áp dụng một cách chuyên nghiệp cho đế than chì. SiC là vật liệu có độ bền cao với khả năng kháng hóa chất vượt trội, khiến nó trở nên lý tưởng để sử dụng trong môi trường bán dẫn, nơi thường có các loại khí phản ứng. Lớp phủ SiC cung cấp một hàng rào bảo vệ giúp che chắn than chì khỏi các phản ứng hóa học tiềm ẩn, đảm bảo tuổi thọ của chất nhạy cảm bán dẫn và duy trì môi trường sạch sẽ bên trong lò phản ứng.

Chất nhạy cảm wafer Semicorex được làm bằng than chì phủ SiC là thành phần không thể thiếu trong quy trình epit Wax bán dẫn. Sự kết hợp giữa các đặc tính cơ học và nhiệt của than chì với tính ổn định hóa học và nhiệt của cacbua silic làm cho nó phù hợp lý tưởng với các nhu cầu khắt khe của sản xuất chất bán dẫn hiện đại. Thiết kế wafer đơn cung cấp khả năng kiểm soát chính xác quá trình epit Wax, góp phần sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao. Chất nhạy cảm này đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được xử lý với sự cẩn thận và chính xác tối đa, tạo ra các lớp epiticular vượt trội và các sản phẩm bán dẫn hoạt động tốt hơn.