Người giữ wafer

Giá đỡ tấm bán dẫn Semicorex là thành phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn và đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo xử lý các tấm bán dẫn chính xác và hiệu quả trong quá trình epit Wax. Chúng tôi cam kết chắc chắn cung cấp các sản phẩm chất lượng cao nhất với giá cả cạnh tranh và mong muốn được hợp tác kinh doanh với bạn.*

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Semicorex Wafer Holder được thiết kế khéo léo với lõi làm bằng than chì có độ tinh khiết cao và được phủ Silicon Carbide (SiC) tỉ mỉ để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của thiết bị Liquid Phase Epit Wax (LPE). Việc lựa chọn cấu trúc và vật liệu của nó là vô cùng quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của các tấm bán dẫn trong quá trình xử lý nhiệt độ cao vốn có trong chế tạo chất bán dẫn.

Giá đỡ wafer than chì được phủ SiC thể hiện khả năng chống mài mòn vượt trội, một đặc tính quan trọng để duy trì kích thước chính xác và chất lượng bề mặt cần thiết để xử lý wafer tối ưu. Trong các quy trình LPE, tính toàn vẹn của bề mặt Giá đỡ wafer là điều tối quan trọng, vì bất kỳ sự xuống cấp hoặc không đồng đều nào cũng có thể dẫn đến khiếm khuyết trên wafer, dẫn đến năng suất thấp hơn và tăng chất thải. Lớp phủ SiC đảm bảo rằng Giá đỡ wafer duy trì bề mặt mịn, ổn định qua các chu kỳ lặp đi lặp lại, góp phần mang lại độ tin cậy và tính nhất quán tổng thể của quy trình epit Wax.

Hơn nữa, lớp phủ SiC giúp tăng cường hiệu suất nhiệt của Giá đỡ wafer. Độ dẫn nhiệt cao của Silicon Carbide đảm bảo phân bổ nhiệt đều khắp tấm bán dẫn trong quá trình epitaxy, điều này rất quan trọng để ngăn chặn sự chênh lệch nhiệt có thể gây cong vênh hoặc nứt các tấm bán dẫn. Điều này đảm bảo rằng các sản phẩm cuối cùng đáp ứng các tiêu chuẩn chất lượng nghiêm ngặt cần có trong sản xuất chất bán dẫn. Sự kết hợp giữa các đặc tính nhiệt vốn có của than chì với các lợi ích bổ sung của lớp phủ SiC tạo ra Giá đỡ wafer có khả năng chịu được những môi trường nhiệt thách thức nhất.

Thiết kế của Giá đỡ wafer được tối ưu hóa cho ứng dụng trong thiết bị LPE. Giá đỡ tấm wafer được gia công chính xác để chứa các tấm wafer một cách an toàn, giảm thiểu nguy cơ dịch chuyển hoặc sai lệch trong quá trình epit Wax. Độ chính xác này rất quan trọng, vì ngay cả sự thay đổi nhỏ nhất ở vị trí tấm bán dẫn cũng có thể dẫn đến sự lắng đọng không đồng đều, ảnh hưởng đến hiệu suất của các thiết bị bán dẫn được chế tạo. Giá đỡ tấm wafer than chì được phủ SiC mang lại độ ổn định cần thiết, đảm bảo rằng các tấm wafer vẫn ở đúng vị trí trong toàn bộ quá trình.