Khay đựng bánh wafer

Semicorex cung cấp gốm sứ bán dẫn cho các công cụ bán chế tạo OEM và các bộ phận xử lý tấm bán dẫn tập trung vào các lớp cacbua silic trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp Khay đựng bánh wafer trong nhiều năm. Khay đựng bánh wafer của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Không chỉ dành cho các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epit Wax hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn, Semicorex còn cung cấp chất mang gốm siêu tinh khiết dùng để hỗ trợ các tấm bán dẫn. Cốt lõi của quy trình, Khay chứa wafer cho MOCVD, trước tiên phải chịu môi trường lắng đọng nên có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao. Chất mang được phủ SiC cũng có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Khay đựng bánh xốp của chúng tôi.

Thông số của khay đựng wafer

Đặc tính kỹ thuật
chỉ mục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Cacbua silic thiêu kết phản ứng	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
Mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Cái nút	2700	2800	/
Độ bền phá vỡ	MPa m1/2	4.5	4	/
Độ dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	Gpa	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của khay đựng wafer

- Lớp phủ Silicon Carbide CVD để nâng cao tuổi thọ sử dụng.
- Cách nhiệt bằng cacbon cứng tinh khiết hiệu suất cao.
- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân bổ nhiệt tuyệt vời.
- Lớp phủ than chì và SiC có độ tinh khiết cao giúp chống lỗ kim và tuổi thọ cao hơn

Các hình dạng có sẵn của gốm sứ cacbua silic:

● Que gốm/pin gốm/piston gốm

● Ống gốm / ống lót gốm / ống bọc gốm

● Vòng gốm/vòng đệm gốm/miếng đệm gốm

● Đĩa sứ

● Tấm gốm/khối gốm

● Bóng gốm

● Piston gốm

● Đầu phun gốm

● Nồi nấu bằng gốm

● Các bộ phận gốm tùy chỉnh khác