Khay mang wafer

Semicorex cung cấp gốm cấp chất bán dẫn cho các công cụ bán chế tạo OEM của bạn và các thành phần xử lý tấm bán dẫn tập trung vào các lớp cacbua silic trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp Khay đựng wafer trong nhiều năm. Khay mang wafer của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Không chỉ dành cho các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như epitaxy hoặc MOCVD, hoặc xử lý xử lý tấm bán dẫn, Semicorex còn cung cấp chất mang gốm siêu tinh khiết được sử dụng để hỗ trợ các tấm bán dẫn. Cốt lõi của quy trình, Khay mang wafer cho MOCVD, lần đầu tiên được đưa vào môi trường lắng đọng, vì vậy nó có khả năng chống ăn mòn và nhiệt cao. Chất mang phủ SiC cũng có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Khay đựng wafer của chúng tôi.

Các thông số của khay mang wafer

Thuộc tính kỹ thuật
Mục lục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Phản ứng thiêu kết cacbua silic	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Knoop	2700	2800	/
Phá vỡ độ bền	MPa m1/2	4.5	4	/
Dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	điểm trung bình	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để thấm Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do co rút tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt nghiêm ngặt hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau dưới PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của khay mang wafer

- Lớp phủ CVD Silicon Carbide để cải thiện tuổi thọ.
- Lớp cách nhiệt làm bằng carbon cứng tinh khiết hiệu suất cao.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Lớp phủ than chì và SiC có độ tinh khiết cao giúp chống lại lỗ kim và tuổi thọ cao hơn

Hình dạng có sẵn của gốm silicon carbideï¼

â Thanh gốm / chốt gốm / pít tông gốm

â Ống gốm / ống lót gốm / ống bọc gốm

â Vòng gốm / máy giặt gốm / miếng đệm gốm

â Đĩa sứ

â Tấm gốm / khối gốm

â Bóng gốm

â Pít-tông gốm

â Vòi gốm

â Chén gốm

â Các bộ phận gốm tùy chỉnh khác