Ống tráng TaC

Ống tráng phủ Semicorex TaC đại diện cho đỉnh cao của khoa học vật liệu, được thiết kế để chịu được các điều kiện khắc nghiệt gặp phải trong chế tạo chất bán dẫn tiên tiến. Được tạo ra bằng cách phủ một lớp TaC dày đặc, đồng nhất lên nền than chì đẳng hướng có độ tinh khiết cao thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), Ống tráng TaC mang đến sự kết hợp hấp dẫn các đặc tính vượt trội so với các vật liệu thông thường trong môi trường đòi hỏi nhiệt độ cao và có tính ăn mòn hóa học. **

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Sức mạnh của Semicorex TaC Coated Tube nằm ở sự kết hợp hiệp lực giữa vật liệu nền và lớp phủ chuyên dụng:

Nền than chì đẳng hướng có độ tinh khiết cao:Lõi của Ống tráng TaC được hình thành từ than chì đẳng hướng có độ tinh khiết cực cao, nổi tiếng với tính dẫn nhiệt tuyệt vời, độ giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống sốc nhiệt vốn có. Nền tảng này cung cấp một nền tảng mạnh mẽ và ổn định có khả năng chịu được sự biến động nhiệt độ nhanh chóng và tải nhiệt cao đặc trưng của quá trình xử lý chất bán dẫn.

Tantalum cacbua---Lá chắn về độ bền và tính trơ:Lớp phủ TaC được ứng dụng CVD biến đổi chất nền than chì, mang lại độ cứng đặc biệt, khả năng chống mài mòn và độ trơ hóa học. Lớp bảo vệ này hoạt động như một rào cản chống lại các loại khí, plasma và các loại phản ứng mạnh gặp phải trong quá trình chế tạo chất bán dẫn, đảm bảo tính toàn vẹn cấu trúc và tuổi thọ của ống.

Sự kết hợp vật liệu độc đáo này mang lại một loạt lợi thế quan trọng cho hoạt động sản xuất chất bán dẫn tiên tiến:

Khả năng chịu nhiệt độ vô song:TaC tự hào là một trong những điểm nóng chảy cao nhất trong tất cả các vật liệu đã biết, vượt qua cả silicon cacbua (SiC). Khả năng chịu nhiệt độ cực cao này cho phép Ống phủ TaC hoạt động đáng tin cậy trong các quy trình yêu cầu nhiệt độ vượt quá 2500°C, cho phép sản xuất các thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo với ngân sách nhiệt khắt khe.

Độ tinh khiết cực cao để kiểm soát quy trình quan trọng:Duy trì môi trường quy trình nguyên sơ là điều tối quan trọng trong chế tạo chất bán dẫn. Việc sử dụng than chì có độ tinh khiết cao và quy trình phủ CVD tỉ mỉ đảm bảo giảm thiểu lượng khí thoát ra hoặc tạo ra hạt từ Ống phủ TaC, ngăn ngừa ô nhiễm có thể ảnh hưởng đến bề mặt tấm bán dẫn nhạy cảm và hiệu suất của thiết bị.

Kháng hóa chất không ngừng:Tính trơ hóa học của Ống tráng TaC mang lại khả năng chống chịu đặc biệt với nhiều loại khí ăn mòn, ion phản ứng và môi trường plasma thường được sử dụng trong các quy trình bán dẫn như ăn mòn, lắng đọng và ủ. Độ ổn định hóa học mạnh mẽ này giúp kéo dài tuổi thọ của ống, giảm yêu cầu bảo trì và giảm tổng chi phí sở hữu.

Độ bền cơ học nâng cao để kéo dài tuổi thọ sử dụng:Lực liên kết mạnh mẽ giữa lớp phủ TaC và chất nền than chì, cùng với độ cứng vốn có của Ống phủ TaC, mang lại khả năng chống mài mòn, xói mòn và ứng suất cơ học đặc biệt. Độ bền được nâng cao này đồng nghĩa với thời gian sử dụng dài hơn và giảm thời gian ngừng hoạt động để thay thế, cải thiện hiệu suất và thông lượng của quy trình.