Các bộ phận than chì phủ tantalum cacbua

Các bộ phận than chì được phủ Tantalum Carbide đóng một vai trò quan trọng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, trong đó độ chính xác, độ tin cậy và khả năng chống chịu với các điều kiện khắc nghiệt là tối quan trọng. Các thành phần được xử lý đặc biệt này, bao gồm vòng khắc và nồi nấu kim loại, được thiết kế để chịu đựng các môi trường đầy thách thức gặp phải trong quá trình chế tạo chất bán dẫn.

Các bộ phận than chì được phủ Tantalum Carbide như vòng khắc là những thành phần quan trọng được sử dụng trong ngành bán dẫn cho các quá trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi vật lý (PVD). Những vòng này tiếp xúc trực tiếp với khí phản ứng và môi trường nhiệt độ cao trong quá trình ăn mòn.

Các bộ phận than chì phủ tantalum cacbua được phủ một lớp mỏng cacbua tantalum. Lớp phủ này cung cấp khả năng chống mài mòn đặc biệt và bảo vệ chống lại các hóa chất ăn mòn, đảm bảo tuổi thọ và hiệu suất ổn định.

Lớp phủ cacbua tantalum tăng cường độ cứng và độ ổn định hóa học của vòng ăn mòn, ngăn ngừa sự xuống cấp và ô nhiễm. Nó cũng góp phần mang lại kết quả khắc đồng đều và kéo dài tuổi thọ hoạt động.