Chuyên môn than chì là một loại than chì nhân tạo được xử lý. Nó là một vật liệu quan trọng không thể thiếu trong tất cả các khía cạnh của quá trình sản xuất bán dẫn và quang điện, bao gồm tăng trưởng tinh thể, cấy ion, epitaxy, v.v.
1. Silicon cacbua (sic) Tăng trưởng tinh thể
Carbide silicon, như một vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba, được sử dụng rộng rãi trong các phương tiện năng lượng mới, thông tin liên lạc 5G và các trường khác. Trong quá trình tăng trưởng SIC Crystal 6 inch và 8 inch, than chì đẳng hướng chủ yếu được sử dụng để sản xuất các thành phần chính sau:
GROTITE CRUMBULE: Điều này có thể được sử dụng để tổng hợp nguyên liệu bột SIC và cũng hỗ trợ phát triển tinh thể ở nhiệt độ cao. Độ tinh khiết cao, điện trở nhiệt độ cao và khả năng chống sốc nhiệt đảm bảo môi trường tăng trưởng tinh thể ổn định.
Máy sưởi than chì: Điều này cung cấp phân phối nhiệt đồng đều, đảm bảo sự phát triển tinh thể SIC chất lượng cao.
Ống cách nhiệt: Điều này duy trì tính đồng nhất nhiệt độ trong lò tăng trưởng tinh thể và giảm mất nhiệt.
2. Cấy ion
Cấy ion là một quá trình quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Chân than isostatic chủ yếu được sử dụng để sản xuất các thành phần sau trong ION Impsters:
Getter than chì: Điều này hấp thụ các ion tạp chất trong chùm ion, đảm bảo độ tinh khiết của ion.
Vòng tập trung than chì: Điều này tập trung chùm ion, cải thiện độ chính xác và hiệu quả của ION. Khay chất nền than chì: Được sử dụng để hỗ trợ các tấm silicon và duy trì sự ổn định và nhất quán trong quá trình cấy ion.
3. Quá trình epitaxy
Quá trình epitax là một bước quan trọng trong sản xuất thiết bị bán dẫn. Nhất than chì được ép chủ yếu được sử dụng để sản xuất các thành phần sau trong các lò nung epitax:
Khay than chì và các chất nhạy cảm: Được sử dụng để hỗ trợ các tấm silicon, cung cấp hỗ trợ ổn định và dẫn nhiệt đồng đều trong quá trình epitaxy.
4. Các ứng dụng sản xuất bán dẫn khác
Lá than được ép đặc biệt cũng được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng sản xuất bán dẫn sau:
Quá trình khắc: Được sử dụng để sản xuất các điện cực than chì và các thành phần bảo vệ cho các bản khắc. Khả năng chống ăn mòn và độ tinh khiết cao của nó đảm bảo sự ổn định và độ chính xác trong quá trình khắc.
Lắng đọng hơi hóa học (CVD): Được sử dụng để sản xuất khay than chì và lò sưởi trong lò CVD. Độ dẫn nhiệt cao và điện trở nhiệt độ cao của nó đảm bảo lắng đọng màng mỏng đồng đều.
Thử nghiệm bao bì: Được sử dụng để sản xuất đồ đạc thử nghiệm và khay vận chuyển. Độ chính xác cao và ô nhiễm thấp của nó đảm bảo kết quả kiểm tra chính xác.
Ưu điểm của các bộ phận than chì
Độ tinh khiết cao:
Sử dụng vật liệu than chì được ép đặc biệt cao với hàm lượng tạp chất cực kỳ thấp, nó đáp ứng các yêu cầu độ tinh khiết vật liệu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn. Lò thanh lọc riêng của công ty có thể tinh chế than chì xuống dưới 5PPM.
Độ chính xác cao:
Với thiết bị xử lý tiên tiến và công nghệ xử lý trưởng thành, nó đảm bảo rằng độ chính xác và dung sai hình thức và vị trí của sản phẩm đạt đến mức Micron.
Hiệu suất cao:
Sản phẩm có khả năng chống nhiệt độ cao tuyệt vời, khả năng chống ăn mòn, kháng bức xạ, độ dẫn nhiệt cao và các tính chất khác, đáp ứng các điều kiện làm việc khắc nghiệt khác nhau của sản xuất chất bán dẫn.
Dịch vụ tùy chỉnh:
Các dịch vụ thiết kế và xử lý sản phẩm tùy chỉnh có thể được cung cấp theo nhu cầu của khách hàng để đáp ứng nhu cầu của các kịch bản ứng dụng khác nhau.
Các loại sản phẩm than chì
(1) Than chì đẳng hướng
Các sản phẩm than chì đẳng hướng được sản xuất bằng cách ép lạnh. So với các phương pháp hình thành khác, các loại cây trồng được tạo ra bởi quá trình này có sự ổn định tuyệt vời. Các sản phẩm than chì cần thiết cho các tinh thể đơn SIC đều có kích thước lớn, điều này sẽ dẫn đến độ tinh khiết không đồng đều trên bề mặt và bên trong các sản phẩm than chì, không thể đáp ứng các yêu cầu sử dụng. Để đáp ứng các yêu cầu tinh chế sâu của các sản phẩm than chì có kích thước lớn cần thiết cho các tinh thể đơn SIC, một quy trình tinh chế xung nhiệt độ cao độc đáo nên được áp dụng để đạt được tinh chế sâu và đồng đều của các sản phẩm than chì có hình dạng lớn hoặc có hình dạng đặc biệt, do đó độ tinh khiết của bề mặt sản phẩm và lõi có thể đáp ứng các yêu cầu sử dụng.
(2) Than chì xốp
Than than xốp là một loại than chì có độ xốp cao và mật độ thấp. Trong quá trình tăng trưởng tinh thể SIC, than chì xốp đóng vai trò quan trọng trong việc cải thiện tính đồng nhất của chuyển khối, làm giảm tốc độ xuất hiện của thay đổi pha và cải thiện hình dạng tinh thể.
Việc sử dụng than chì xốp giúp cải thiện độ đồng nhất nhiệt độ và nhiệt độ của diện tích vật liệu thô, làm tăng chênh lệch nhiệt độ trục trong nồi nấu kim loại, và cũng có ảnh hưởng nhất định trong việc làm suy yếu sự kết tinh của bề mặt vật liệu thô; Trong buồng tăng trưởng, than chì xốp giúp cải thiện tính ổn định của dòng vật liệu trong suốt quá trình tăng trưởng, tăng tỷ lệ C/Si của khu vực tăng trưởng, giúp giảm xác suất thay đổi pha, đồng thời, than chì xốp cũng đóng vai trò cải thiện giao diện tinh thể.
(3) Cảm thấy
Cảm giác mềm và cảm giác cứng cả hai đóng vai trò của vật liệu cách nhiệt quan trọng trong sự phát triển tinh thể sic và các liên kết epiticular.
(4) Lá than chì
Giấy than chì là một vật liệu chức năng được làm từ vảy carbon cao thông qua xử lý hóa học và lăn nhiệt độ cao. Nó có độ dẫn nhiệt cao, độ dẫn điện, tính linh hoạt và khả năng chống ăn mòn.
(5) Vật liệu composite
Trường nhiệt carbon-carbon là một trong những vật dụng cốt lõi trong sản xuất lò tinh thể đơn quang điện.
Sản xuất dấu chấm phẩy
Semicorex tạo ra than chì với các phương pháp sản xuất hàng loạt nhỏ, tùy chỉnh. Việc sản xuất lô nhỏ làm cho các sản phẩm có thể kiểm soát được hơn. Toàn bộ quá trình được kiểm soát bởi các bộ điều khiển logic lập trình (PLC), dữ liệu quy trình chi tiết đã được ghi lại, cho phép truy xuất nguồn gốc vòng đời hoàn chỉnh.
Trong toàn bộ quá trình rang, tính nhất quán đạt được trong điện trở suất trên các vị trí khác nhau và kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ được duy trì. Điều này đảm bảo tính đồng nhất và độ tin cậy của vật liệu than chì.
Semicorex sử dụng công nghệ cấp bách hoàn toàn đẳng cấp, khác với các nhà cung cấp khác; Nó có nghĩa là than chì là chính thống nhất và được chứng minh đặc biệt quan trọng trong các quá trình epiticular. Các thử nghiệm đồng nhất vật liệu toàn diện đã được tiến hành, bao gồm mật độ, điện trở suất, độ cứng, độ bền uốn và cường độ trên các mẫu khác nhau.
Nồi nấu kim loại Semicorex để tăng trưởng tinh thể là không thể thiếu trong việc đạt được sự tăng trưởng đơn tinh thể có kiểm soát, nền tảng cho sản xuất thiết bị bán dẫn. Những nồi nấu này được thiết kế tỉ mỉ để đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe của ngành bán dẫn, đảm bảo hiệu suất và hiệu suất cao nhất trên tất cả các ứng dụng. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Nồi nấu kim loại để tăng trưởng tinh thể hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.
Đọc thêmGửi yêu cầuNồi nấu kim loại than chì đẳng tĩnh Semicorex để nấu chảy được sản xuất bằng kỹ thuật ép đẳng tĩnh, giúp nâng cao mật độ vật liệu và tính chất cơ học của chúng. Điều này giúp cho bình không chỉ chịu được nhiệt độ khắc nghiệt và môi trường ăn mòn điển hình của quá trình xử lý chất bán dẫn mà còn mang lại độ bền lâu dài. Độ bền của nồi nấu kim loại đảm bảo chúng có thể xử lý chu trình nhiệt lặp đi lặp lại mà không bị suy giảm chất lượng, từ đó mang lại hiệu suất ổn định trong thời gian hoạt động kéo dài. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Nồi nấu kim loại than chì đẳng nhiệt hiệu suất cao để nấu chảy, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất cách điện tăng trưởng tinh thể Sapphire Semicorex đóng một vai trò không thể thiếu trong hoạt động của lò nung đơn tinh thể sapphire, dẫn đầu các chức năng quan trọng trong toàn bộ quá trình phát triển tinh thể. Bằng cách duy trì nhiệt độ lò ổn định, các thành phần này giảm đáng kể sự thất thoát năng lượng và nâng cao chất lượng của các tinh thể đang phát triển. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Chất cách điện tăng trưởng tinh thể Sapphire hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.
Đọc thêmGửi yêu cầuNâng cao khả năng quản lý nhiệt chính xác của bạn với Máy sưởi tăng trưởng tinh thể Sapphire Semicorex. Máy sưởi này, được thiết kế tỉ mỉ để có hiệu suất tối ưu, tự hào có tích hợp lớp SiC giúp củng cố vai trò của nó như một yếu tố ưu việt trong hoạt động phát triển tinh thể, thúc đẩy cả hiệu quả cao và độ tin cậy. Chúng tôi tại Semicorex chuyên sản xuất và cung cấp Máy sưởi tăng trưởng tinh thể Sapphire hiệu suất cao kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex Isostatic Graphite Crucible là một bình chuyên dụng được sử dụng trong xử lý nhiệt các vật liệu bán dẫn, đặc biệt là trong sản xuất đơn tinh thể. Nó đóng một vai trò quan trọng trong sự phát triển có kiểm soát của các cấu trúc đơn tinh thể cần thiết cho việc chế tạo thiết bị bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuSemicorex cung cấp Thuyền than chì PECVD chất lượng cao với dịch vụ tùy chỉnh. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu