Lớp phủ carbon thủy tinh cảm thấy

Lớp phủ carbon thủy tinh bán nguyệt hoạt động như một lớp cách nhiệt bên trong trong các lò phản ứng epiticular cacbua silicon. Nó là một vật liệu cách nhiệt hiệu suất cao được thiết kế cho môi trường nhiệt tiên tiến. Sản phẩm này vượt qua các thách thức sản xuất nhiệt độ cao bán dẫn điển hình bằng cách đưa ra các giải pháp vượt trội do tính chất cách nhiệt nhẹ và tuyệt vời của nóLấy cảm giác than chì, cùng với tính toàn vẹn bề mặt và trơ hóa hóa học được truyền bởi lớp phủ carbon thủy tinh.

Vật liệu cơ bản là độ tinh khiết caoLấy cảm giác than chìchọn cho độ dẫn nhiệt thấp của nó Ổn định nhiệt độ cao và trọng lượng ánh sáng. Cảm giác than chì bình thường thường có rụng sợi bề mặt và tạo ra hạt ở nhiệt độ cao có thể làm ô nhiễm môi trường quá trình trong các hệ thống epiticular nhạy cảm. Để giảm thiểu vấn đề này, bề mặt của than chì cảm thấy được phủ đồng đều với một lớp carbon thủy tinh, một dạng carbon dày đặc, không xốp được biết đến với tính trơ hóa học, tính thấm khí thấp và độ ổn định nhiệt đặc biệt.

Glassy Carbon là một carbon không có trọng lượng kết hợp các tính chất của thủy tinh và gốm. Trái ngược với than chì tinh thể, nó là một vật liệu carbon lai vô định hình, gần 100%, được hình thành bởi sự thiêu kết nhiệt độ cao của các tiền chất hữu cơ trùng hợp, như nhựa phenolic, nhựa furfuryl, v.v. Bởi vì nó có màu đen trong suốt và có một bề mặt mịn tương tự như thủy tinh, nó được gọi là carbon thủy tinh.

Lớp phủ carbon thủy tinh có thể loại bỏ việc tạo ra các hạt lò, cung cấp lỗ chân lông bề mặt kín, có đặc tính phá hủy tuyệt vời và giảm tính thấm, làm cho vật liệu này rất phù hợp để đúc và sản phẩm đúc liên tục trong ngành công nghiệp bán dẫn. Vật liệu này có một loạt các ứng dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, đặc biệt là trong các bộ phận than chì như các thành phần thiết bị kéo silicon tinh thể đơn, các thành phần tăng trưởng epiticular, khuôn đúc liên tục, đồ gá niêm phong thủy tinh, v.v.

Carbon thủy tinh có điện trở nhiệt độ cao lên tới 3000 ° C trong khí trơ hoặc chân không, và không giống như tất cả các vật liệu nhiệt độ cao bằng gốm và kim loại khác, cường độ của carbon thủy tinh tăng lên khi tăng nhiệt độ lên tới 2700k, và nó không trở nên giòn và có khả năng chống sốc nhiệt cực cao, do đó, thời gian làm mát ngắn và làm mát không có vấn đề gì. Ngoài ra, carbon thủy tinh có khối lượng thấp, hấp thụ nhiệt thấp và giãn nở nhiệt thấp, vì vậy nó phù hợp cho hầu hết các ứng dụng nhiệt độ cao.

Lớp phủ carbon thủy tinh đóng một vai trò quan trọng trong việc niêm phong lỗ chân lông bề mặt của than chì, làm giảm đáng kể việc giải phóng các hạt và bụi carbon trong quá trình hoạt động. Điều này đặc biệt quan trọng trong các quá trình tăng trưởng epiticular SIC, trong đó ngay cả ô nhiễm tối thiểu cũng có thể ảnh hưởng đến chất lượng wafer và hiệu suất thiết bị. Bằng cách gói gọn cấu trúc xốp của cảm giác bằng vỏ carbon thủy tinh mịn, cứng, lớp phủ đảm bảo môi trường nhiệt sạch và ổn định trong buồng phản ứng.

Ưu điểm chính của Lớp phủ carbon thủy tinh bao gồm:

Giảm độ rụng hạt: Lớp phủ dày đặc khóa hiệu quả các sợi và hạt lỏng lẻo, ngăn ngừa sự ô nhiễm của các tấm wafer và các thành phần lò phản ứng.

Độ ổn định nhiệt cao: Cả cảm giác than chì và carbon thủy tinh có thể chịu được nhiệt độ vượt quá 2000 ° C trong khí quyển trơ hoặc chân không, làm cho sản phẩm trở nên lý tưởng cho các quá trình SIC nhiệt độ cao.

Sự trơ hóa hóa học: Bề mặt carbon thủy tinh có khả năng chống lại hầu hết các axit và khí ăn mòn, kéo dài tuổi thọ hoạt động của lớp cách nhiệt trong điều kiện khắc nghiệt.

Tính nhất quán của quá trình cải tiến: Việc tạo hạt giảm thiểu góp phần vào môi trường tăng trưởng epitaxial ổn định và lặp lại, điều này rất cần thiết để tạo ra các tấm sic chất lượng cao.

Các ứng dụng của lớp phủ carbon thủy tinh cảm thấy mở rộng chủ yếu cho các lò tăng trưởng epiticular sic, nơi nó được sử dụng làm lớp cách nhiệt trong vùng nóng. Sản phẩm thường được cài đặt làm vật liệu lót ở các ngăn xếp cách nhiệt trên hoặc dưới, trong đó nó cung cấp cả bảo vệ nhiệt và đảm bảo độ sạch.