Bệ silicon

Semicorex Silicon Pedestal, một thành phần thường bị bỏ qua nhưng cực kỳ quan trọng, đóng một vai trò quan trọng trong việc đạt được kết quả chính xác và có thể lặp lại trong quá trình oxy hóa và khuếch tán chất bán dẫn. Nền tảng chuyên dụng, nơi đặt thuyền silicon trong lò nhiệt độ cao, mang lại những ưu điểm độc đáo góp phần trực tiếp nâng cao tính đồng nhất về nhiệt độ, cải thiện chất lượng tấm bán dẫn và cuối cùng là hiệu suất thiết bị bán dẫn vượt trội.**

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

1. Bệ silicon Semicorex Ổn định môi trường xử lý để có kết quả tối ưu:

Tạo Nền Tảng Ổn Định Cho Thuyền Pha Lê:Bệ silicon cung cấp một nền tảng chắc chắn và ổn định về nhiệt cho thuyền silicon trong buồng lò nhiệt độ cao. Sự ổn định này đảm bảo rằng các con thuyền duy trì vị trí và định hướng trong suốt quá trình, ngăn chặn chuyển động hoặc độ nghiêng không mong muốn có thể làm gián đoạn động lực của dòng khí và làm ảnh hưởng đến tính đồng nhất của nhiệt độ.

Tăng cường tính đồng nhất nhiệt độ trong buồng phản ứng:Bằng cách cách ly hiệu quả thuyền silicon khỏi sàn và tường lò, Bệ silicon giảm thiểu thất thoát nhiệt thông qua dẫn nhiệt và thúc đẩy sự phân bổ nhiệt độ đồng đều hơn trong ống phản ứng nhiệt. Khả năng quản lý nhiệt nâng cao này rất quan trọng để đạt được cấu hình khuếch tán hoặc oxy hóa nhất quán và có thể lặp lại trên toàn bộ bề mặt wafer.

Tăng cường hiệu quả cách nhiệt để sử dụng năng lượng tối ưu:Đặc tính cách nhiệt vốn có của Bệ silicon góp phần tạo ra quy trình tiết kiệm năng lượng hơn bằng cách giảm thiểu thất thoát nhiệt ra môi trường xung quanh. Điều này có nghĩa là chu kỳ làm nóng và làm mát nhanh hơn, giảm mức tiêu thụ năng lượng và cuối cùng là giảm chi phí xử lý tổng thể.

2. Sức mạnh tổng hợp của vật liệu cho chất lượng wafer vượt trội:

Phù hợp với sự giãn nở nhiệt để giảm căng thẳng của wafer:Bệ silicon, được chế tạo từ cùng loại vật liệu silicon có độ tinh khiết cao như thuyền và tấm bán dẫn, mang lại lợi thế quan trọng so với các vật liệu thay thế như thạch anh hoặc cacbua silic. Sức mạnh tổng hợp của vật liệu này đảm bảo rằng bệ, thuyền và tấm bán dẫn mở rộng và co lại với tốc độ gần như giống nhau trong các chu kỳ làm nóng và làm mát, giảm thiểu rủi ro về ứng suất nhiệt, cong của tấm bán dẫn và các khuyết tật tinh thể có thể tác động tiêu cực đến năng suất và hiệu suất của thiết bị.

Giảm thiểu sự ô nhiễm và sự không phù hợp của mạng lưới:Việc sử dụng silicon có độ tinh khiết cao cho cả Bệ silicon và thuyền giúp loại bỏ khả năng nhiễm bẩn từ các vật liệu khác nhau, đảm bảo môi trường xử lý nguyên sơ cho các tấm bán dẫn. Khả năng tương thích vật liệu này cũng giảm thiểu nguy cơ mạng lưới không khớp ở bề mặt tiếp xúc giữa đĩa bán dẫn và thuyền, góp phần cải thiện chất lượng tinh thể và giảm mật độ khuyết tật.