Thuyền wafer gốm SiC

Thuyền wafer gốm Semicorex SiC tạo nên sự khác biệt nhờ sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính vật liệu khiến nó phù hợp lý tưởng với yêu cầu khắt khe của sản xuất chất bán dẫn và quang điện:

Ổn định nhiệt độ cao không ngừng:Quá trình xử lý wafer thường liên quan đến nhiệt độ cực cao đẩy các vật liệu thông thường đến giới hạn của chúng. Thuyền wafer gốm SiC thể hiện khả năng chịu nhiệt độ cao đặc biệt, duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và tính chất cơ học ngay cả ở nhiệt độ vượt quá 1650°C (3000°F). Điều này cho phép sử dụng chúng trong các quy trình quan trọng như khuếch tán và ủ, trong đó việc kiểm soát nhiệt độ chính xác và độ ổn định của tấm bán dẫn là tối quan trọng.

Pháo đài bất khả xâm phạm chống ăn mòn:Các hóa chất khắc nghiệt và các chất mạnh được sử dụng trong chế tạo chất bán dẫn và quang điện đặt ra thách thức đáng kể đối với tính toàn vẹn của vật liệu. Thuyền wafer gốm SiC thể hiện khả năng chống ăn mòn vượt trội so với hầu hết các kim loại và gốm sứ khác, chịu được sự tiếp xúc kéo dài với nhiều loại axit, dung môi, muối và hợp chất hữu cơ. Tính trơ này đảm bảo tuổi thọ của thuyền, ngăn ngừa ô nhiễm do xuống cấp vật liệu và bảo vệ độ tinh khiết của các bước quy trình quan trọng.

Sạch sẽ dễ dàng cho sự tinh khiết không khoan nhượng:Duy trì bề mặt wafer nguyên sơ là điều tối quan trọng để đạt được năng suất và hiệu suất thiết bị cao. Bề mặt không xốp của Thuyền wafer gốm SiC và khả năng chống lại sự tấn công của hóa chất giúp cho việc làm sạch trở nên cực kỳ dễ dàng. Các chất gây ô nhiễm được loại bỏ dễ dàng, ngăn ngừa ô nhiễm chéo giữa các lần chạy quy trình và đảm bảo môi trường nguyên sơ cần thiết cho các thiết bị bán dẫn và quang điện hiệu suất cao.

Khả năng phục hồi chống lại ứng suất nhiệt và cơ học:Quá trình xử lý wafer thường liên quan đến sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng và xử lý cơ học có thể gây ra căng thẳng và làm hỏng các vật liệu dễ bị hư hỏng. Các đặc tính cơ học mạnh mẽ của Thuyền wafer gốm SiC, bao gồm độ cứng cao và khả năng chống sốc nhiệt đặc biệt, đảm bảo tính toàn vẹn cấu trúc của nó ngay cả trong các điều kiện khắt khe. Điều này giảm thiểu nguy cơ tạo ra hạt hoặc hư hỏng tấm bán dẫn, góp phần mang lại năng suất cao hơn và chất lượng sản phẩm ổn định.

Vận chuyển không trơn trượt cho độ chính xác vững chắc:Xử lý tấm wafer chính xác là rất quan trọng để ngăn ngừa hư hỏng và đảm bảo xử lý nhất quán. Độ bôi trơn vốn có của Thuyền wafer gốm SiC và hệ số ma sát thấp tạo ra bề mặt không trơn trượt một cách tự nhiên. Điều này cho phép chuyển động của tấm bán dẫn trơn tru, được kiểm soát trong quá trình tải và dỡ tải, giảm thiểu nguy cơ trầy xước, sứt mẻ hoặc hư hỏng khác có thể ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của tấm bán dẫn.