Thuyền wafer SiC ngang

Một đặc điểm nổi bật của Semicorex Horizontal SiC Wafer Boat là kiến ​​trúc có rãnh được thiết kế tỉ mỉ, được thiết kế đặc biệt để giữ các tấm wafer cố định một cách an toàn trong suốt các quy trình nhiệt độ cao khác nhau. Ràng buộc wafer chính xác này phục vụ một số chức năng quan trọng:

Loại bỏ chuyển động của wafer:Bằng cách ngăn chặn sự trượt hoặc dịch chuyển không mong muốn, Thuyền bán dẫn SiC nằm ngang đảm bảo khả năng tiếp xúc ổn định với các khí xử lý và cấu hình nhiệt độ, góp phần xử lý wafer có tính đồng nhất cao và giảm thiểu nguy cơ lỗi.

Cải thiện tính đồng nhất của quy trình:Việc định vị tấm wafer nhất quán trực tiếp mang lại tính đồng nhất vượt trội trong các thông số quan trọng như độ dày lớp, nồng độ pha tạp và hình thái bề mặt. Độ chính xác này đặc biệt quan trọng trong các ứng dụng như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khuếch tán, trong đó ngay cả những thay đổi nhỏ cũng có thể ảnh hưởng đáng kể đến hiệu suất của thiết bị.

Giảm thiệt hại của wafer:Việc giữ chắc chắn của Thuyền bán dẫn SiC nằm ngang giúp giảm thiểu khả năng sứt mẻ, vỡ hoặc trầy xước của bán dẫn trong quá trình xử lý và vận chuyển, điều này rất cần thiết để duy trì năng suất cao và giảm chi phí sản xuất.

Ngoài thiết kế chính xác, Thuyền wafer SiC ngang còn mang đến sự kết hợp hấp dẫn giữa các đặc tính vật liệu khiến nó trở nên lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn và quang điện:

Khả năng chịu nhiệt độ cực cao: Thuyền wafer SiC ngang thể hiện độ bền và độ ổn định ở nhiệt độ cao đặc biệt, cho phép nó chịu được các điều kiện nhiệt khắc nghiệt gặp phải trong các quá trình như tăng trưởng tinh thể, ủ và xử lý nhiệt nhanh (RTP) mà không bị biến dạng hoặc xuống cấp.

Độ tinh khiết cực cao để kiểm soát ô nhiễm:Việc sử dụng SiC có độ tinh khiết cao đảm bảo giảm thiểu lượng khí thoát ra hoặc tạo ra hạt, bảo vệ tính toàn vẹn của các bề mặt tấm bán dẫn nhạy cảm và ngăn ngừa ô nhiễm có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị.

Tính ổn định hóa học đặc biệt:Tính trơ vốn có của SiC làm cho Thuyền wafer SiC ngang có khả năng chống chịu cao trước sự tấn công từ các loại khí ăn mòn và hóa chất thường được sử dụng trong chế tạo chất bán dẫn và quang điện. Tính ổn định hóa học mạnh mẽ này đảm bảo tuổi thọ hoạt động lâu dài và giảm thiểu nguy cơ lây nhiễm chéo giữa các lần chạy quy trình.

Tính linh hoạt và lợi thế về hiệu suất của Thuyền wafer SiC nằm ngang đã dẫn đến việc áp dụng rộng rãi nó trong một loạt quy trình sản xuất chất bán dẫn và quang điện quan trọng:

Tăng trưởng epiticular:Việc định vị tấm bán dẫn chính xác và độ đồng đều về nhiệt độ là rất quan trọng để đạt được các lớp epiticular chất lượng cao trong các thiết bị bán dẫn tiên tiến, khiến Thuyền bán dẫn SiC ngang trở thành một công cụ thiết yếu cho quy trình này.

Khuếch tán và cấy ion:Kiểm soát doping chính xác là điều tối quan trọng trong việc xác định đặc tính điện của thiết bị bán dẫn. Thuyền wafer SiC nằm ngang đảm bảo định vị wafer chính xác trong các quy trình này, giúp cải thiện tính đồng nhất và hiệu suất thiết bị.

Sản xuất pin mặt trời:Khả năng chịu nhiệt độ cao và khả năng kháng hóa chất của Thuyền wafer SiC ngang khiến nó trở nên lý tưởng để xử lý các tấm silicon được sử dụng trong tế bào quang điện, góp phần tăng hiệu quả và tuổi thọ của hệ thống năng lượng mặt trời.