Bình chuông thạch anh bán dẫn

Bình chuông thạch anh bán dẫn Semicorex thường được chế tạo từ thạch anh nung chảy tổng hợp, một vật liệu được biết đến với độ tinh khiết đặc biệt, khả năng chịu nhiệt độ cao và đặc tính giãn nở nhiệt thấp. Điều này đảm bảo rằng buồng không đưa chất gây ô nhiễm hoặc tạp chất vào quá trình chế tạo chất bán dẫn.

Bình chuông thạch anh bán dẫn thường có dạng hình trụ hoặc hình vòm, có đế phẳng hoặc hơi cong để chứa các tấm bán dẫn hoặc chất nền. Nó có cơ chế bịt kín, được thiết kế chính xác, chẳng hạn như mặt bích hoặc vòng đệm chữ O, để duy trì chân không hoặc không khí được kiểm soát bên trong buồng trong quá trình xử lý.

Bình chuông thạch anh bán dẫn mang lại độ rõ quang học tuyệt vời, cho phép người vận hành giám sát trực quan các quá trình bên trong buồng mà không ảnh hưởng đến độ chính xác hoặc gây nhiễu. Thạch anh có khả năng chống lại sự tấn công hóa học cao từ hầu hết các axit, bazơ và dung môi thường được sử dụng trong quy trình chế tạo chất bán dẫn. Điều này đảm bảo tính toàn vẹn của buồng và ngăn ngừa ô nhiễm chất nền.

Thạch anh có điểm nóng chảy cao và độ ổn định nhiệt, cho phép Bình chuông thạch anh bán dẫn chịu được nhiệt độ cao gặp phải trong quá trình lắng đọng hoặc ủ mà không bị biến dạng hoặc xuống cấp.

Các ứng dụng:

Lắng đọng: Lọ chuông thạch anh bán dẫn được sử dụng trong các kỹ thuật lắng đọng khác nhau như lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi vật lý (PVD) và lắng đọng lớp nguyên tử (ALD) để lắng đọng các màng vật liệu mỏng lên chất nền bán dẫn với độ chính xác và đồng nhất.

Khắc: Chúng được sử dụng trong quy trình khắc plasma để loại bỏ có chọn lọc vật liệu khỏi các tấm bán dẫn, tạo ra các mẫu và cấu trúc phức tạp với độ chính xác và độ lặp lại cao.

Ủ: Lọ chuông được sử dụng trong quá trình ủ để xử lý nhiệt có kiểm soát đối với các tấm bán dẫn, tạo điều kiện cho quá trình kết tinh, kích hoạt dopant và giảm căng thẳng trong màng lắng đọng.