Bình chuông thạch anh 15"

Semicorex 15" Quartz Bell Jar được thiết kế để đáp ứng những thách thức này, cung cấp giải pháp hiệu suất cao cho xử lý hàng loạt quy mô từ trung bình đến lớn, trong đó độ đồng đều nhiệt và độ tinh khiết của vật liệu là cần thiết để tối đa hóa năng suất. Trong ngành công nghiệp bán dẫn và màng mỏng, tính toàn vẹn của buồng xử lý là tối quan trọng. Khi kích thước wafer tăng lên và các nút co lại, yêu cầu về môi trường sạch sẽ, ổn định và trơ về mặt hóa học trở nên không thể thương lượng.

1. Khoa học vật liệu: Độ tinh khiết của Silica nung chảy

Nền tảng của lọ chuông của chúng tôi có độ tinh khiết caosilic nung chảy (thạch anh). Không giống như thủy tinh tiêu chuẩn, thạch anh có thành phần gần như hoàn toàn là SiO2, mang lại những đặc tính độc đáo rất quan trọng cho việc chế tạo chất bán dẫn:

Ô nhiễm cực thấp: Thạch anh của chúng tôi được xử lý để giảm thiểu các nguyên tố vi lượng kim loại (như Al, Fe, Na và K) xuống mức phần tỷ (ppb). Điều này ngăn chặn sự khuếch tán tạp chất vào wafer trong chu kỳ nhiệt độ cao, đảm bảo tính toàn vẹn về điện của thiết bị.

Khả năng chống sốc nhiệt vượt trội: Thạch anh sở hữu Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) gần như bằng 0. Điều này cho phép Bình chuông thạch anh 15" chịu được nhiệt độ tăng và làm nguội nhanh mà không có nguy cơ bị gãy hoặc mỏi cấu trúc—một yêu cầu quan trọng đối với lò phản ứng công suất cao.

Độ trơ hóa học tuyệt vời: Thạch anh có khả năng kháng cao với hầu hết các axit (ngoại trừ axit hydrofluoric) và các khí xử lý ăn mòn, đảm bảo rằng buồng không bị phân hủy hoặc thoát ra ngoài trong các chu kỳ ăn mòn hoặc lắng đọng mạnh.

2. Kỹ thuật chính xác và độ rõ quang học

Bình chuông thạch anh 15" cung cấp thể tích tối đa và động lực dòng khí tối ưu cho mục đích xử lý bánh bán dẫn theo mẻ. Bình có ống khói thẳng đứng (còn được gọi là cổ) được thiết kế tối ưu để cung cấp đầu vào cho khí hoặc hỗ trợ chiết khí thông qua chân không từ bình, như minh họa trong hình trên.

Độ trong suốt quang học - Mức độ truyền tải cao củavật liệu thạch anhđể phát ra các bước sóng trong vùng tử ngoại, khả kiến ​​và hồng ngoại của quang phổ cho phép xử lý theo thời gian thực cũng như sử dụng bộ sưởi đèn bên ngoài để xử lý nhiệt nhanh (RTP).

Bề mặt bịt kín được gia cố - Cổ của bình có một lớp bịt màu trắng đục được phát triển đặc biệt (còn được gọi là khớp nối đất) mang lại giao diện kín (bịt kín bằng không khí) và kín chân không giữa tấm đế lò phản ứng và bình.

Ủ để giảm căng thẳng - Tất cả các bình chuông thạch anh 15" đều trải qua quá trình ủ nhiệt nghiêm ngặt để giảm bớt ứng suất cơ học bên trong đã được đặt lên bình bằng quá trình cơ học thổi hoặc tạo hình bình, do đó làm giảm đáng kể khả năng bình tự phát bị hỏng khi đặt dưới tải chân không.

3. Các ứng dụng quan trọng trong Chế tạo Chất bán dẫn

Bình chuông thạch anh 15" của chúng tôi được thiết kế đặc biệt để tích hợp vào các quy trình có giá trị cao sau:

Silicon Epitaxy: Cung cấp một bình trong suốt, không phản ứng để phát triển các lớp silicon đơn tinh thể chất lượng cao.

CVD tăng cường plasma (PECVD): Chịu được môi trường plasma ăn mòn trong khi vẫn duy trì độ bền điện môi cao.

Khuếch tán và oxy hóa: Phục vụ như một buồng sạch, nhiệt độ cao để hình thành các oxit cổng và dẫn động tạp chất.

Sản xuất phôi sợi quang: Lý tưởng cho việc lắng đọng các lớp silica có độ tinh khiết cao trong sản xuất thủy tinh đặc biệt.

Tại Semicorex, chúng tôi xử lý từng lọ chuông như một thiết bị thí nghiệm chính xác. Quy trình của chúng tôi bao gồm: Tìm nguồn cung ứng vật liệu nghiêm ngặt với cấp điện tử đã được xác minhthạch anhthỏi; chế tạo tiên tiến kết hợp các kỹ năng thổi thủy tinh truyền thống với mài và đánh bóng được điều khiển bằng CNC; và kiểm tra kỹ lưỡng bằng cách sử dụng ánh sáng phân cực để phát hiện ứng suất dư và đo giao thoa laser để kiểm tra kích thước chính xác.