Khay vận chuyển khắc PSS của Semicorex để xử lý wafer được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng thiết bị epitaxy đòi hỏi khắt khe. Chất mang than chì siêu tinh khiết của chúng tôi là lý tưởng cho các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như MOCVD, chất nhạy cảm với epitaxy, bánh kếp hoặc nền tảng vệ tinh và xử lý xử lý wafer như khắc. Khay mang khắc axit PSS để xử lý wafer có khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao, đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời và độ dẫn nhiệt cao. Sản phẩm của chúng tôi có hiệu quả về chi phí và có lợi thế về giá tốt. Chúng tôi phục vụ cho nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Khay mang khắc khắc PSS để xử lý lát bán dẫn của Semicorex được thiết kế cho các môi trường khắc nghiệt cần thiết cho quá trình tăng trưởng epiticular và xử lý lát bán dẫn. Chất mang than chì siêu tinh khiết của chúng tôi được thiết kế để hỗ trợ các tấm mỏng trong các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như MOCVD và chất nhạy cảm với epitaxy, bánh kếp hoặc nền tảng vệ tinh. Chất mang được phủ SiC có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời và độ dẫn nhiệt cao. Sản phẩm của chúng tôi có hiệu quả về chi phí và mang lại lợi thế về giá tốt.
Các thông số của Khay mang khắc khắc PSS để xử lý lát mỏng
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Khay mang khắc khắc PSS để xử lý wafer
- Tránh bong tróc và đảm bảo độ phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất