Giá đỡ vật mang khắc cho PSS Etching của Semicorex được thiết kế cho các ứng dụng thiết bị epit Wax có yêu cầu khắt khe nhất. Chất mang than chì siêu tinh khiết của chúng tôi có thể chịu được môi trường khắc nghiệt, nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Chất mang được phủ SiC có đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời, độ dẫn nhiệt cao và tiết kiệm chi phí. Sản phẩm của chúng tôi được sử dụng rộng rãi ở nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ và chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Tại Semicorex, chúng tôi đã thiết kế Giá đỡ vật mang khắc cho PSS Etching đặc biệt cho các môi trường khắc nghiệt cần thiết cho quá trình tăng trưởng epiticular và xử lý wafer. Chất mang than chì siêu tinh khiết của chúng tôi lý tưởng cho các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như MOCVD, chất nhạy cảm epit Wax, nền bánh kếp hoặc vệ tinh và xử lý xử lý tấm bán dẫn như khắc axit. Chất mang được phủ SiC có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời và độ dẫn nhiệt cao. Sản phẩm của chúng tôi có hiệu quả về chi phí và mang lại lợi thế về giá tốt.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Giá đỡ tấm khắc cho tấm khắc PSS của chúng tôi.
Các thông số của Giá đỡ vật mang khắc cho PSS Etching
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC |
|
Tỉ trọng |
g/cm³ |
3.21 |
độ cứng |
Độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
mm |
2~10 |
Độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Công suất nhiệt |
J kg-1 K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh cảm giác |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun của Young |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Độ dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Giá đỡ tấm khắc cho tấm khắc PSS
- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất