Giá đỡ Chất mang Etching của Semicorex cho PSS Etching được thiết kế cho các ứng dụng thiết bị epitaxy đòi hỏi khắt khe nhất. Chất mang than chì siêu tinh khiết của chúng tôi có thể chịu được môi trường khắc nghiệt, nhiệt độ cao và quá trình tẩy rửa bằng hóa chất khắc nghiệt. Chất mang phủ SiC có đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời, độ dẫn nhiệt cao và tiết kiệm chi phí. Sản phẩm của chúng tôi được sử dụng rộng rãi ở nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ, và chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Tại Semicorex, chúng tôi đã thiết kế Giá đỡ vật mang khắc cho PSS Etching dành riêng cho các môi trường khắc nghiệt cần thiết cho quá trình xử lý wafer và tăng trưởng epiticular. Chất mang than chì siêu tinh khiết của chúng tôi là lý tưởng cho các giai đoạn lắng đọng màng mỏng như MOCVD, chất nhạy cảm với epitaxy, bánh kếp hoặc nền tảng vệ tinh và xử lý xử lý wafer như khắc. Chất mang phủ SiC có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao, đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời và độ dẫn nhiệt cao. Sản phẩm của chúng tôi có hiệu quả về chi phí và mang lại lợi thế về giá tốt.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Giá đỡ vật mang khắc cho Khắc PSS.
Các thông số của Giá đỡ vật mang khắc cho khắc PSS
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Giá đỡ vật liệu khắc cho khắc PSS
- Tránh bong tróc và đảm bảo độ phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất