Khi các nút công nghệ tiếp tục thu hẹp lại, việc hình thành các mối nối siêu nông đặt ra những thách thức đáng kể. Các quy trình ủ nhiệt bao gồm ủ nhiệt nhanh (RTA) và ủ đèn flash (FLA) là những kỹ thuật quan trọng giúp duy trì tốc độ kích hoạt tạp chất cao đồng thời giảm thiểu khuếch tán, đảm bảo h......
Đọc thêmTrong sản xuất chất bán dẫn, độ chính xác và ổn định của quá trình ăn mòn là điều tối quan trọng. Một yếu tố quan trọng để đạt được chất lượng khắc cao là đảm bảo rằng các tấm bán dẫn phẳng hoàn toàn trên khay trong suốt quá trình. Bất kỳ sai lệch nào cũng có thể dẫn đến sự bắn phá ion không đồng đề......
Đọc thêm