Các chất nhạy được phủ CVD SiC có chức năng như chất giữ tấm bán dẫn chuyên dụng trong quy trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), đóng vai trò quan trọng trong chế tạo chất bán dẫn. Các thành phần này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn cấu trúc của tấm bán dẫn trong quá trình epit......
Đọc thêm