Chuck chân không xốp Alumina

Mâm cặp chân không được kết nối với thiết bị chân không thông qua ống nối. Khi mâm cặp chân không tiếp xúc với phôi, chẳng hạn như vật liệu màng mỏng/mỏng, thiết bị chân không bắt đầu hoạt động, tạo ra áp suất âm bên trong mâm cặp chân không. Dưới áp suất khí quyển, phôi bám chắc vào mâm cặp chân không, cho phép xử lý. Sau khi xử lý xong, thiết bị chân không ngừng hoạt động và từ từ nạp khí vào mâm cặp chân không, tự động tách phôi ra khỏi mâm cặp. Điều này hoàn thành việc kẹp, xử lý và xử lý phôi.

Mục tiêu cốt lõi của quang khắc bán dẫn là "in" hàng tỷ mẫu mạch bán dẫn lên một tấm bán dẫn với độ chính xác ở mức nanomet. Bản chất của "photolithography" là sử dụng nguồn sáng để chiếu xạ chất quang dẫn có độ nhạy sáng cao, gây ra phản ứng hóa học làm ăn mòn mạch điện. Tuy nhiên, khi nguồn sáng chiếu vào tấm bán dẫn, nó chắc chắn cũng chiếu sáng lên mâm cặp tĩnh điện, đóng vai trò là vật mang bán dẫn. Ánh sáng thứ cấp phản xạ thu được có thể cản trở quá trình quang khắc, gây phơi nhiễm ở những khu vực ngoài ý muốn và làm hỏng mạch điện. Vì vậy, bề mặt màu đen dành cho mâm cặp chân không giúp giảm thiểu sự phản xạ, đảm bảo yêu cầu về độ chính xác của hệ thống quang khắc. Dựa trên khả năng này, alumina đen có thể được sử dụng rộng rãi không chỉ trong mâm cặp tĩnh điện mà còn trong các tình huống "ức chế ánh sáng". Sự ra đời của kỷ nguyên AI đã cho phép phát triển đáng kể các ứng dụng truyền thông quang học và chất nền alumina đen thường được thấy trong bao bì của các thiết bị quang điện tử và các bộ phận phát sáng.

Gốm alumina đenđược làm chủ yếu từ Al2O3, với các oxit kim loại chuyển tiếp làm chất tạo màu và chất hỗ trợ thiêu kết được thêm vào, thiêu kết ở nhiệt độ cụ thể. Chất tạo màu là thành phần quan trọng của loại gốm này, quyết định màu sắc cuối cùng của nó. Khi lựa chọn chất tạo màu cho mâm cặp chân không, điều cần thiết là phải đảm bảo mức độ màu sắc, độ bền cơ học, độ xốp và kích thước lỗ của mâm cặp chân không.

Hiện nay, các oxit kim loại chuyển tiếp được sử dụng phổ biến làm chất tạo màu trong nước và quốc tế bao gồm Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 và MnO2, trong đó Fe2O3, CoO, NiO và MnO2 là phổ biến nhất. Bởi vì alumina ít bay hơi ở nhiệt độ cao, trong khi các oxit kim loại chuyển tiếp thì ngược lại, độ bay hơi của chúng tăng theo nhiệt độ. Những oxit này tạo thành các hợp chất dạng Spinel trong quá trình thiêu kết ở nhiệt độ cao, làm giảm tính bay hơi của chúng. Vì vậy, để ngăn chặn sự bay hơi của các oxit kim loại chuyển tiếp, cần lựa chọn các điều kiện xử lý thích hợp để cho phép chúng kết hợp thành các hợp chất dạng Spinel ở nhiệt độ thấp hơn.

Semicorex cung cấp hải quanmâm cặp chân không bằng gốm xốp. Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Số điện thoại liên hệ +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com