Có hai loại epitaxy: đồng nhất và không đồng nhất. Để sản xuất các thiết bị SiC có điện trở cụ thể và các thông số khác cho các ứng dụng khác nhau, chất nền phải đáp ứng các điều kiện của epitaxy trước khi bắt đầu sản xuất. Chất lượng của epit Wax ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị.
Đọc thêmTrong chế tạo chất bán dẫn, khắc axit là một trong những bước quan trọng, cùng với quang khắc và lắng đọng màng mỏng. Nó liên quan đến việc loại bỏ các vật liệu không mong muốn khỏi bề mặt của tấm bán dẫn bằng phương pháp hóa học hoặc vật lý. Bước này được thực hiện sau khi phủ, quang khắc và phát t......
Đọc thêmChất nền SiC có thể có các khuyết tật vi mô, chẳng hạn như Trật khớp vít ren (TSD), Trật khớp cạnh ren (TED), Trật khớp mặt phẳng cơ sở (BPD) và các khuyết tật khác. Những khiếm khuyết này là do sự sai lệch trong cách sắp xếp các nguyên tử ở cấp độ nguyên tử.
Đọc thêmChất nền SiC có thể có các khuyết tật vi mô, chẳng hạn như Trật khớp vít ren (TSD), Trật khớp cạnh ren (TED), Trật khớp mặt phẳng cơ sở (BPD) và các khuyết tật khác. Những khiếm khuyết này là do sự sai lệch trong cách sắp xếp các nguyên tử ở cấp độ nguyên tử. Tinh thể SiC cũng có thể có các sai lệch......
Đọc thêm